© 2021 г. О. Л. Парамонова*, аспирант; Н. Т. Шардаков*, доктор техн. наук; Д. Ю. Кручинин*, **, канд. техн. наук
* Уральский федеральный университет — Институт новых материалов и технологий, Екатеринбург
** Производственное объединение «Уральский оптико-механический завод», Екатеринбург
E-mail: n.t.shardakov@urfu.ru
УДК 620.179.118.4
Поступила в редакцию 17.06.2020
DOI:10.17586/1023-5086-2021-88-01-76-81
Методом интерференционной микроскопии белого света выполнены топографические исследования поверхности оптических стекол после их контакта с влажной атмосферой. Показано, что минимальные изменения шероховатости наблюдаются у силикатных стекол, максимальные — у боросиликатных, промежуточное положение занимают боратные стекла. У силикатных стекол увеличение шероховатости обусловлено ростом на поверхности выступов, у боросиликатных и боратных — ростом как выступов, так и впадин.
Ключевые слова: оптические стекла, относительная влажность, шероховатость, топографические исследования, интерференционная микроскопия.
Код OCIS: 240.5770
Литература
1. Парамонова О.Л., Шардаков Н.Т., Кручинин Д.Ю. Изменение шероховатости поверхности оптических стекол во влажной атмосфере // Оптический журнал. 2020. Т. 87. № 9. С. 76–81.
2. ГОСТ 13917-92 МАТЕРИАЛЫ ОПТИЧЕСКИЕ. Методы определения химической устойчивости. Группы химической устойчивости. М.: Издательство стандартов, 1992. 20 с.
3. Моро У. Микролитография: в 2-х ч. Ч. 1. М.: Мир, 1990. 605 с.
4. Физико-химические основы производства оптического стекла. Под ред. докт. техн. наук Демкиной Л.И. Л.: Химия, 1976. 456 c.
5. Игнатьев П.С., Лопарев А.В., Индукаев К.В., Осипов П.А. Исследование оптических свойств наноструктур методом модуляционной интерференционной микроскопии // Оптический журнал. 2011. Т. 78. № 1. С. 26–31.
Полный текст
