Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

Аннотации (11.2022) : Метод химико-механической обработки поверхности высокодобротных кристаллических микрорезонаторов c модами типа шепчущей галереи

Метод химико-механической обработки поверхности высокодобротных кристаллических микрорезонаторов c модами типа шепчущей галереи

Кирилл Николаевич Миньков1*, Андрей Николаевич Данилин2, Артем Евгеньевич Шитиков3, Илья Кириллович Горелов4, Максим Леонидович Галкин5, Антон Викторович Мантузов6, Евгений Александрович Артемов7, Мария Игоревна Красивская8, Валерий Евгеньевич Лобанов9, Игорь Антонович Биленко10

1, 2, 3, 4, 5, 9, 10Российский квантовый центр, Москва, Россия

5Сколковский институт науки и технологий, Москва, Россия

6, 7«АЕМ Технолоджис», г. Фрязино Московской обл., Россия

8Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики», Москва, Россия

1k.n.minkov@yandex.ru             https://orcid.org/0000-0002-6462-2453

2andrey_dan98@mail.ru           https://orcid.org/0000-0002-2548-0923

3shartev@gmail.com                 https://orcid.org/0000-0002-0491-2635

4ilia19981@yandex.ru              https://orcid.org/0000-0002-6940-9643

5galkinmax1997@gmail.com     https://orcid.org/0000-0002-2123-2172 

6, 7cmpmaterialslab@gmail.com

8mkrasivskaya@hse.ru              https://orcid.org/0000-0002-6205-0893

9vallobanov@gmail.com           https://orcid.org/0000-0002-0350-9465

10igorbilenko@phys.msu.ru       https://orcid.org/0000-0003-3726-6016

Аннотация

Предмет исследования. Оригинальный метод обработки поверхности высокодобротных кристаллических оптических микрорезонаторов c модами типа шепчущей галереи путем химико­механической полировки на примере микрорезонаторов из фторида магния с возможностью использования метода как для хрупких, так и для мягких материалов. Цель работы заключалась в разработке нового эффективного метода обработки поверхности кристаллических микрорезонаторов c модами типа шепчущей галереи, основанного на асимптотической химико­механической полировке. Метод. Изготовленные методом алмазного точения резонаторы из фторида магния полировались методом химико­механической полировки. Для определения численной взаимосвязи значений добротности и шероховатости обе величины измерены независимыми методами: шероховатость — с использованием интерференционного микроскопа, добротность — посредством определения полуширины резонансного провала мощности при критической связи. Отдельное внимание уделено изучению свойств полирующей суспензии, для чего перед началом полировки определялось распределение частиц суспензии по их размеру методом динамического рассеяния света и с помощью сканирующего электронного микроскопа. Основные результаты. Разработан и успешно применен оригинальный метод обработки поверхности высокодобротных кристаллических оптических микрорезонаторов c модами типа шепчущей галереи, позволяющий сократить время полировки минимум в три раза. Продемонстрировано, что предложенный метод обеспечивает изготовление резонаторов с малым радиусом, сохраняя их форму без изменений, с добротностью не ниже 109. Шероховатость поверхности образующей резонатора послехимико­механической полировки составила порядка 5 нм, что соответствует 1–1,5 элементарным ячейкам кристалла. Практическая значимость. Применение метода химико­механической полировки способствует сокращению времени полировки и улучшению качества поверхности структур со сложной формой, а в перспективе позволит автоматизировать процесс изготовления микрорезонаторов.

Ключевые слова: оптические микрорезонаторы, моды шепчущей галереи, оптические частотные гребенки, химико­механическая полировка, измерение добротности

Благодарность: работа выполнена при финансовой поддержке гранта РНФ № 21­72­00132 с использованием оборудования ЦКП ВНИИОФИ и ЦКП «Визуализации высокого разрешения» Сколтеха.

Ссылка для цитирования: Миньков К.Н., Данилин А.Н., Шитиков А.Е., Горелов И.К., Галкин М.Л., Мантузов А.В., Артемов Е.А., Красивская М.И., Лобанов В.Е., Биленко И.А. Метод химико­механической обработки поверхности высокодобротных кристаллических микрорезонаторов c модами типа шепчущей галереи // Оптический журнал. 2022. Т. 89. № 11. С. 76–83. DOI: 10.17586/1023­5086­2022­89­11­76­83

Коды OCIS: 120.0120, 160.1190, 160.4330