© 2011 г. В. А. Горшков*, канд. техн. наук; А. Г. Ломакин**; А. С. Невров*; Д. А. Новиков*
** Научно-производственное объединение “Оптика”, Москва
** Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
** E-mail: optikal@npooptica.ru, aglomakin@gmail.ru
Описано получение топографических карт поверхностей оптических деталей методом преобразования Фурье. Приведено программное обеспечение, используемое при изготовлении высокоточной асферической оптики. Проведен сравнительный анализ этого метода с применявшимся ранее амплитудным при технологическом процессе формообразования и контроля поверхностей оптических деталей. Сделаны выводы о целесообразности применения данного метода для контроля поверхностей оптических деталей.
Ключевые слова: преобразование Фурье, фурье-спектр, реконструированная фазовая картина, 3D-карта фазовой картины, дифракционная решетка, интерферограмма поверхности, топографическая карта поверхности, формообразование поверхности, асферическая поверхность.
Коды OCIS: 220.4610
УДК 004.42; 681.7.023.7
Поступила в редакцию 12.11.2010
ЛИТЕРАТУРА
1. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970. 856 с.
2. Васильев Л.А., Ершов И.В. Интерферометр с дифракционной решеткой. М.: Машиностроение, 1976. 100 с.
3. Вишняков Г.Н., Левин Г.Г., Лощилов К.Е., Сухоруков К.А. Фурье-синтез трехмерной поверхности по методу многоракурсной проекции полос // Опт. и спектр. 2005. Т. 99. № 4. С. 680–684.
4. Bone D.J., Bachor H-A., Sanderman J. Fringe-pattern analysis using a 2D Fourier transform // Appl. Opt. 1986. V. 25. № 10. P. 1653–1660.
5. Оптический производственный контроль // Под ред. Малакары Д. М.: Машиностроение, 1985. С. 215.
6. Takeda M., Gu Q., Kinoshita M., Takai H., Takahashi Y. Frequency-multiplex Fourier-transform profilometry: a single-shot three-dimensional shape measurement of objects with large height discontinuities and/or surface isolations // Appl. Opt. 1997. V. 36. № 22. P. 5347–5354.
Полный текст
