ИЗМЕРЕНИЕ ДИНАМИЧЕСКОЙ ПОГРЕШНОСТИ УГЛОВОГО ДВИЖЕНИЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЗЕРКАЛА

© 2013 г.    А. Н. Королёв *, доктор техн. наук; А. Я. Лукин **, канд. физ.-мат. наук; Г. С. Полищук ***, канд. техн. наук

*     ООО «Оптротех», Санкт-Петербург

**   Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Санкт-Петербург

*** Оптико-механическое объединение, Санкт-Петербург

E-mail: a.korolev@optrotech.ru

Обсуждается новая технология измерения динамической погрешности движения сканирующего зеркала, работающего в режиме строчно-кадровой развертки. Приведены результаты экспериментов, показывающих возможность измерения динамической погрешности углового движения зеркала с точностью на уровне 1''.

Ключевые слова: сканирующее зеркало, светочувствительная матрица, погрешность измерения, модуляция излучения, динамическая погрешность углового движения.

Коды OCIS: 100.2000

УДК 531.7.08, 535.8

Поступила в редакцию 20.02.2013

ЛИТЕРАТУРА

1.               Королев А.Н., Лукин А.Я., Полищук Г.С. Новая концепция измерения угла; модельные и экспериментальные исследования // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 6. С. 52-58.

2.               Мирошников М.М. Теоретические основы оптико-электронных приборов. Л.: «Машиностроение», 1977. С.50-53.

Полный текст