Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

Аннотации (03.2014) : ПРЕОБРАЗОВАНИЕ ИЗОБРАЖЕНИЙ В МОЗАИЧНЫХ НЕОХЛАЖДАЕМЫХ МИКРОБОЛОМЕТРИЧЕСКИХ ПРИЕМНИКАХ ИНФРАКРАСНОГО И ТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНОВ ФОРМАТОМ ДО 3072–576 И БОЛЕЕ

ПРЕОБРАЗОВАНИЕ ИЗОБРАЖЕНИЙ В МОЗАИЧНЫХ НЕОХЛАЖДАЕМЫХ МИКРОБОЛОМЕТРИЧЕСКИХ ПРИЕМНИКАХ ИНФРАКРАСНОГО И ТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНОВ ФОРМАТОМ ДО 3072–576 И БОЛЕЕ

© 2014 г.    М. А. Демьяненко*, канд. физ.­мат. наук; Д. Г. Есаев*, канд. физ.­мат. наук; А. Г. Клименко*, канд. физ.­мат. наук; А. И. Козлов*, канд. техн. наук; И. В. Марчишин*; А. Р. Новоселов**, канд. техн. наук; В. Н. Овсюк*, доктор физ.­мат. наук

*Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН), г. Новосибирск,
**Новосибирский филиал ИФП СО РАН “Конструкторско­технологический институт прикладной микроэлектроники”, г. Новосибирск

Е­mail: kozlov@isp.nsc.ru

Рассмотрены конструктивно­технологические принципы создания мозаичных фотоприемников (МФП) гипербольшого формата на основе технологии близкой стыковки кремниевых кристаллов с неохлаждаемыми матричными микроболометрическими приемниками (ММБП) меньшего формата. Исследован и оптимизирован базовый блок технологических операций лазерного скрайбирования в составе прецизионной технологии близкой стыковки кристаллов с суммарным размером технологической части «слепой зоны» между краевыми фоточувствительными элементами соседних кристаллов ММБП не более 30 мкм. Синтезированы конструкция и схема кремниевого мультиплексора форматом 384–288, которые при изготовлении МФП форматом 3072–576 по разработанной технологии близкой стыковки, для инфракрасных микроболометров могут обеспечить эффективность преобразования изображений более 99%, а для микроболометров терагерцового диапазона до 100%.

Ключевые слова: мозаичный фотоприемник, микроболометр, кремниевый мультиплексор, инфракрасный диапазон, терагерцовый диапазон, скрайбирование,
импульсный наносекундный лазер.

Коды OCIS: 040.3060, 110.3080, 130.5990.

УДК 621.382: 621.383.5

Поступила в редакцию 17.07.2013.

 

ЛИТЕРАТУРА

1. Филачев А. М., Таубкин И. И., Тришенков М. А. Твердотельная фотоэлектроника. Физические основы. М.: Физматкнига, 2005. 384 c.

2. Sparfke T., Beletic J. W. Infrared focal plane arrays for space applications // Optics and Photonics News. 2008. V. 19. № 6. P. 22–27.

3. Finger G., Beletic J.W. Review of the state of infrared detectors for astronomy in retrospect of the June 2002 // Workshop on Scientific Detectors for Astronomy. Proc. SPIE. 2003. V. 4841. P. 839–852.

4. Dorn R.J., Finger G., Huster G., Hans­Ulrich K., Jean­Louis L., Leander M., Manfred M., Jean­Francois P., Armin S., Stegmeier J., Moorwood A. F.­M. The CRIRES InSb megapixel focal plane array detector mosaic // Proceedings SPIE. 2004. V. 5499. P. 510–517.

5. Scowen P. A., Jansen R., Beasley M., Macenka S., Shaklan S., Calzetti D., Desch S., Fullerton A., Gallagher J., Malhotra S., McCaughrean M., Nikzad S., O’Connell R., Oey S., Padgett D., Rhoads J., Roberge A., Siegmund O., Smith N., Stern D., Tumlinson J., Windhorst R., Woodruff R., Spergel D., Sembach K. Design and Implementation of the Widefield High­Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission // 213 конференция американского Астрономического Общества, январь 2009. Опубликован в Bulletin of the American Astronomical Society, V. 41. № 1.

6. Новоселов А.Р. Разработка высокоэффективных мозаичных фотоприемников на основе линеек фоточувствительных элементов // Автометрия. 2010. Т. 46. № 6. С. 106–115.

7. Chamonal J.P., Mottin E., Audebert P., Ravetto M., Caes M., Chatard J.P. Long linear MWIR and LWIR HgCdTe arrays for high resolution imaging // Proc. SPIE. 2000. V. 4130. P. 452–462.

8. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. М.: Радио и связь, 1991. 528 c.

9. Промышленное применение лазеров / Под ред. Кебнера Г. М.: Машиностроение, 1988. 279 c.

10. Narayan J., Young F.W. Growth of dislocations during laser melting and solidification // Applied Physics Letter. 1979. V. 35. № 4. P. 330–332.

11. Балдуллаева А., Власенко А.И., Кузнецов Э.И., Ломовцев А.В., Мозоль П.Е., Смирнов А.Б. Возбуждение поверхностных акустических волн в кристаллах p­CdTe при воздействии импульсным лазерным излучением // Физика и техника полупроводников. 2001. Т. 35. № 8. С. 960–963.

12. Mooney P.M., Young R.T., Karins J., Lee Y. H., Corbett J. W. Defects in laser damaged silicon observed DLTS // Phys. Status Solidi A. 1978. V. 48. № 1. P. K31­K34.

13 Afonso C.N., Alonso M., Neira J.L.H., Sequeira A.D., da Silva M.F., Soares J.C. Pulsed laser induced effects on the HgCdTe surface // J. Vacuum Science Technology. 1989. А 7. № 6. P. 3256–3264.

14. Физика полупроводниковых приборов // Под ред. Зи С. М. М: Энергия, 1973. 655 с.

15. Hong M.H., Yongfeng L. Optical detection of laser plasma interaction during laser ablation // Proc. SPIE. 1999. V. 3618. P. 37–44.

16. Novoselov A.R., Klimenko A.G. Processes in semiconductor materials after laser cutting // Proc. SPIE. 2002. V. 4426. P. 150–153.

17. Козлов А.И. Анализ принципов построения схем кремниевых мультиплексоров для многоэлементных ИК фотоприемников // Автометрия. 2010. Т. 46. № 1. С. 118–129.

18. Мурога С. Системное проектирование сверхбольших интегральных схем. В 2­х кн. Кн. 1. Пер. с англ. / Под ред. Кисельникова В.М. М.: Мир, 1985. 288 с.

 

 

Полный текст