Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

Аннотации (04.2014) : ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ СОВМЕСТНЫМ ИСПАРЕНИЕМ ДВУХ ДИЭЛЕКТРИКОВ ЧЕРЕЗ ДИАФРАГМУ

ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ СОВМЕСТНЫМ ИСПАРЕНИЕМ ДВУХ ДИЭЛЕКТРИКОВ ЧЕРЕЗ ДИАФРАГМУ

© 2014 г.    Л. А. Губанова, доктор техн. наук; Э. С. Путилин, доктор техн. наук

Санкт­Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт­Петербург

Е­mail: la7777@mail.ru

Описано формирование интерференционных диэлектрических покрытий с изменяющимися по радиальной координате показателем преломления и толщиной. Такие покрытия могут быть получены при одновременном осаждении пленкообразующих веществ из двух испарителей с разной скоростью через диафрагму, расположенную параллельно плоскости испарителей. Исследовано распределение показателя преломления покрытия, образованного при одновременном испарении двух пленкообразующих веществ из источников, находящихся на разных расстояниях от оси вращения подложки. Представлены экспериментальные данные о показателе преломления пленок при совместном испарении двух оксидов. Показано, что форм­факторы этих пар отличаются: у оксидов титана и кремния он равен единице, а у оксидов гафния и кремния равен нулю.

Ключевые слова: одновременное испарение, диэлектрик, показатель преломления, толщина слоя, неоднородные слои, распределение показателя преломления, распределение толщины слоя.

Коды OCIS: 310.0310

УДК 535.345.633.39

Поступила в редакцию 15.12.2013

 

ЛИТЕРАТУРА

1.         Путилин Э.С., Губанова Л.А. Формирование покрытий при одновременном испарении из двух испарителей // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 8. С. 73–80.

2.         Губанова Л.А., Путилин Э.С. Интерференционные фильтры, формирующие фазовые и амплитудные характеристики отраженного и прошедшего излучения // Оптический журнал. 1995. Т. 62. № 8. С. 72–77.

3.         Якобсон Р. Физика тонких пленок / Под ред. Хасса Г. М.: Мир, 1978. Т. 8. 221 с.

 

Полный текст