Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 19.02.2010 входит в новый «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
Аннотации (05.2014) : ОСОБЕННОСТИ ЛАЗЕРНОГО ОКИСЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ТИТАНА

ОСОБЕННОСТИ ЛАЗЕРНОГО ОКИСЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ТИТАНА

© 2014 г.    Е. А. Шахно, доктор техн. наук; Д. А. Синев, аспирант; А. М. Кулажкин, студент

Университет ИТМО, Санкт­Петербург

Е­mail: elena.shakhno@rbcmail.ru, sinev_dm@mail.ru

Рассмотрена возможность прямой одноэтапной термохимической записи на тонких пленках титана, основанной на различии оптических свойств пленки в облученных и необлученных областях. Предложена методика теоретического анализа процесса окисления тонких металлических пленок с учетом изменения поглощательной способности пленки во время облучения. Определены основные закономерности процесса лазерного окисления пленок титана и, в том числе, показано, что для термохимической записи предпочтительно применение возможно более тонких пленок.

Ключевые слова: лазерное окисление, тонкие металлические пленки, поглощательная способность.

Коды OCIS: 350.3390, 310.6860.

УДК 544.032.65, 537.9

Поступила в редакцию 07.02.2014.

 

ЛИТЕРАТУРА

1.         Poleshchuk A. G., Korolkov V. P. Laser writing systems and technologies for fabrication of binary and continuous relief diffractive optical elements // Proc. SPIE. 2007. V. 6732. P. 67320X1­10.

2.         Ogata S., Tada M., Yoneda M. Electron­beam writing system and its application to large and high­density diffractive optic elements // Appl. Opt. 1994. V. 33. P. 2032–2038.

3.         Вейко В.П., Синев Д.А., Шахно Е.А., Полещук А.Г., Саметов А.Р., Седухин А.Г. Исследование особенностей многопучковой лазерной термохимической записи дифракционных микроструктур // Компьютерная оптика. 2012. Т. 36. № 4. С. 562–571.

4.        Либенсон М.Н. Лазерно­индуцированные оптические и термические процессы в конденсированных средах и их взаимное влияние. СПб.: Наука, 2007. 423 с.

5.         Gorbunov A.A., Eichler H., Pompe W., Huey B. Lateral self­limitation in the laser­induced oxidation of ultrathin metal films // Appl. Phys. Lett. 1996. V. 69. № 19. P. 2816–2818.

6.        Veiko V. P., Shakhno E.A., Poleshchuk A.G., Korolkov V.P., Matyzhonok V.N. Local laser oxidation of thin metal films: ultra­resolution in theory and in practice // J. of Laser Micro/Nanoengineering. 2008. V. 3. № 3. P. 201–205.

7.         Вейко В.П., Котов Г.А., Крутенкова Е.А. К расчету термических искажений рисунка при лазерной обработке пленок // Физика и химия обработки материалов. 1980. № 5. С. 37–43.

8.        Refractive index database/ Mikhail Polyanskiy. – электрон. дан. – Режим доступа: http://refractiveindex.info (date: 11.8.2013), свободный. – Загл. с экрана.

9.        Dakka A., Lafait J., Abd­Lefdil M., Sella C. Optical study of titanium dioxide thin films prepared by R.F. sputtering // Moroccan Journal of Condensed matter. 1999. V. 2. № 1. P. 153–155.

 

 

Полный текст