Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

Аннотации (05.2021) : ПРЕДВАРИТЕЛЬНО ПРОГРАММИРУЕМАЯ ФОКУСИРОВКА МИКРООБЪЕКТИВА УГЛОИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ УСТАНОВКИ

ПРЕДВАРИТЕЛЬНО ПРОГРАММИРУЕМАЯ ФОКУСИРОВКА МИКРООБЪЕКТИВА УГЛОИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ УСТАНОВКИ

 

© 2021 г. В. П. Кирьянов*, доктор техн. наук; А. В. Бобков**, канд. техн. наук; Н. А. Гурин*, ***; А. А. Зотов*; А. Г. Каракоцкий*; А. В. Кирьянов*, канд. техн. наук

*     Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск

**   Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва

*** Новосибирский приборостроительный завод, Новосибирск

E-mail: alexey@iae.nsk.su 

УДК 53.087.92 + 681.7.064.64

Поступила в редакцию 21.01.2021

DOI:10.17586/1023-5086-2021-88-05-76-81

В измерительных установках, используемых для контроля метрологических характеристик прецизионных оптических углоизмерительных структур (круговых шкал, растров и многоразрядных кодовых дисков), применение традиционных методов автоматической фокусировки микрообъективов, входящих в состав их считывающих головок, наталкивается на заметные осложнения. В таких установках предложено использовать принцип предварительно программируемой фокусировки (префокусировки) микрообъектива. Рассмотрена функциональная схема подсистемы префокусировки круговой измерительно-диагностической установки модели АЭ.1686 на базе линейного позиционирующего столика Nano-OP65M. Приведены экспериментальные результаты, полученные в ходе опытной эксплуатации установки с подобной подсистемой.

Ключевые слова: автофокусировка, углоизмерительная структура, топология элемента, угловая погрешность, круговая измерительно-диагностическая установка.

Коды OCIS: 230.4000, 230.0250, 230.0040, 120.5475

 

ЛИТЕРАТУРА

1.    Кирьянов А.В., Зотов А.А., Каракоцкий А.Г., Кирьянов В.П., Петухов А.Д., Чуканов В.В. Оперативный контроль оптических прецизионных углоизмерительных структур // Оптический журнал. 2019. Т. 86. № 9. С. 60–62.

2.   Кирьянов А.В., Кирьянов В.П., Чуканов В.В. Использование дифференциального метода измерений для контроля точности прецизионных углоизмерительных структур // Автометрия. 2016. Т. 52. № 4. С. 45–52.

3.   Кирьянов А.В., Зотов А.А., Каракоцкий А.Г., Кирьянов В.П., Петухов А.Д., Чуканов В.В. Особенности оперативного контроля прецизионных углоизмерительных структур // Измерительная техника. 2019. № 5. С. 31–36.

4.   Кирьянов А.В., Кирьянов В.П., Волохов И.В., Бобков А.В. Использование метода кругового сканирования для формирования и контроля топологии прецизионных фотошаблонов интегральных датчиков физических величин // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 7. С. 26–31.

5.   Кирьянов В.П., Коронкевич В.П., Наливайко В.И., Полещук А.Г. Киноформы. Оптическая система для синтеза элементов / Препринт № 99. Новосибирск: ИАиЭ СО АН СССР, 1979. 38 с.

6.   Ведерников В.М., Верхогляд А.Г., Гуренко В.М., Касторский Л.Б., Кирьянов А.В., Кирьянов В.П., Кокарев С.А., Саметов А.Р. Лазерный генератор изображений для синтеза микрорельефа дифракционных оптических элементов на трехмерных осесимметричных поверхностях // Автометрия. 2004. Т. 40. № 2. С. 46–58.

7.    Верхогляд А.Г., Гуренко В.М. и др. Способ автоматической фокусировки для записи информации на криволинейных поверхностях // Патент РФ № 2262749. Опубл. 27.05.2010, Бюл. № 29.

8.   http://www.madcitylabs.com/nanoopseries.html

 

Полный текст