УДК: 539.216.2

Оптимизация состава смесовых пленок для инфракрасной области спектра

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Баранов А.Н., Муранова Г.А. Оптимизация состава смесовых пленок для инфракрасной области спектра // Оптический журнал. 2014. Т. 81. № 4. С. 77–81.

Baranov A.N., Muranova G.A. Optimizing the composition of mixed films for the IR region [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2014. V. 81. № 4. P. 77–81.

Ссылка на англоязычную версию:

A. N. Baranov and G. A. Muranova, "Optimizing the composition of mixed films for the IR region," Journal of Optical Technology. 81(4), 227-230 (2014). https://doi.org/10.1364/JOT.81.000227

Аннотация:

На основе литературных данных рассмотрены возможности создания новых пленкообразующих материалов с использованием смесовых пленок, имеющих сниженные по сравнению с традиционными материалами внутренние механические напряжения. Рассчитаны возможные для реализации диапазоны показателей преломления смесовых пленок с минимальными напряжениями.

Ключевые слова:

оптические покрытия, механические напряжения, смесовые пленки

Коды OCIS: 310.4925

Список источников:

1. Справочник технолога-оптика / Под ред. Окатова М.А. СПб.: Политехника, 2004. 680 с.
2. Косевич В.М., Палатник Л.С. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. М.: Наука, 1972. 320 c.
3. Гусев А.Г., Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Никитин А.С. Внутренние напряжения в тонких пленках Ge, ZnS, ZnSe // ОМП. 1982. № 8. С. 35−37.
4. Валидов Р.М., Гусев А.Г., Иванов О.Н., Несмелов Е.А. Коэффициенты линейного расширения пленок // ОМП. 1986. № 9. С. 50−52.
5. Гисин М.А., Егоров А.Л., Мустаев Р.М. Внутренние напряжения и адгезия пленок PbTe, полученных вакуумным испарением // ОМП. 1992. № 2. С. 48−50.
6. Pulker H.K. Coatings on glass, second edition. Amsterdam: Elsevier Science B.V., 1999. 568 p.
7. Davis C.A. A simple model for the formation of compressive stress in thin films by ion bombardment // Thin Solid Films. 1993. V. 226. № 1. P. 30–34.
8. Stenzel O. A model for calculating the effect of nanosized pores on refractive index, thermal shift and mechanical stress in optical coatings // J. Phys. D: Appl. Phys. 2009. V. 42. № 5. P. 055312.
9. Stenzel O., Wilbrandt S., Kaiser N., Vinnichenko M., Munnik F., Kolitsch A., Chuvilin A., Kaiser U., Ebert J., Jakobs S. The correlation between mechanical stress, thermal shift and refractive index in HfO2, Nb2O5, Ta2O5 and SiO2 layers and its relation to the layer porosity // Thin Solid Films. 2009. V. 517. № 21. P. 6058–6068.
10. Технология тонких пленок / Под ред. Майссела Л., Глэнга Р. Т. 2. М.: Сов. радио, 1977. 768 с.
11. Ennos A.E. Stresses developed in optical film coatings // Appl. Opt. 1966. V. 5. № 1. P. 51.
12. Путилин Э.С. Оптические покрытия / Учебное пособие. СПб: СПбГУ ИТМО, 2010. 227 с.
13. Губанова Л.А., Зверев В.А. Создание интерференционных покрытий с улучшенными механическими свойствами на основе смесовых пленок // Изв. вузов. Приборостроение. 2012. Т. 55. № 4. С. 46−49.
14. Sankur H., Gunning W.J., Denatale J.F. Intrinsic stress and structural properties of mixed composition thin films // Appl. Opt. 1988. V. 27. № 8. P. 1564–1567.
15. Горбунов А.Ф., Карфидов В.П., Кочерба Г.И., Фейгин Д.М., Фурман Ш.А. Материал для оптических покрытий // А. с. № 1679451. Бюл. изобр. 1991. № 35.
16. Gluck N.S., Taber D.B., Heuer J.P., Hall R.L., Gunning W.J. Properties of mixed composition Si/ZnSe and ZnSe/LaF3 infrared optical thin films // Appl. Opt. 1992. V. 31. № 28. P. 6127−6132.
17. Ryu T.U., Hahn S.H., Kim S.W., Kim E.J. Optical, mechanical and thermal properties of MgF2-ZnS and MgF2-Ta2O5 composite thin films deposited by coevaporation // Opt. Eng. 2000. V. 39. № 12. P. 3207.