Повышение эффективности преобразования изображений в мозаичных микроболометрических приёмниках

Демьяненко М.А., Новоселов А.Р., Козлов А.И., Овсюк В.Н.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Демьяненко М.А., Новоселов А.Р., Козлов А.И., Овсюк В.Н. Повышение эффективности преобразования изображений в мозаичных микроболометрических приёмниках // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 2. С. 60–66. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-02-60-66

Demiyanenko M.A., Novoselov A.R., Kozlov A.I., Ovsyuk V.N. Enhancement of image conversion efficiency in mosaic microbolometer detector arrays [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2018. V. 85. № 2. P. 60–66. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-02-60-66

Ссылка на англоязычную версию:

M. A. Dem’yanenko, A. R. Novoselov, A. I. Kozlov, and V. N. Ovsyuk, "Enhancement of image conversion efficiency in mosaic microbolometer detector arrays," Journal of Optical Technology. 85(2), 110-114 (2018). https://doi.org/10.1364/JOT.85.000110

Аннотация:

Исследованы конструктивно-технологические возможности уменьшения «слепой зоны» мозаичных матричных микроболометрических приёмников (ММБП) высокой размерности для инфракрасного и терагерцового диапазонов. Выполнен количественный анализ «слепой зоны» мозаичных фотоприёмников. Представлен достигнутый технологический уровень близкой, беззазорной стыковки кристаллов субмодулей в мозаичные ММБП с размером технологической части «слепой зоны» 13–22 мкм. Развиты схемотехнические решения блоков адресации, которые минимизируют «слепую зону» мозаичных ММБП.

Ключевые слова:

мозаичный фотоприёмник высокой размерности, микроболометрический приёмник, кремниевый мультиплексор, инфракрасный и терагерцовый диапазоны, скрайбирование полупроводниковых пластин, импульсный наносекундный лазер

Благодарность:

Авторы выражают благодарность академику А.Л. Асееву за поддержку научно-исследовательских работ данного направления, В.В. Филипповой — за разработку вариантов исполнения блоков адресации мультиплексоров и проектирование фотошаблонов.

Коды OCIS: 040.3060, 110.3080, 130.5990

Список источников:

1. Rogalski A. Progress in focal plane array technologies // Progress in Quantum Electronics. 2012. № 36. P. 342–473.
2. Новоселов А.Р. Способ уменьшения зазора между чипами в мозаичных фотоприемных модулях // Автометрия. 2016. Т. 52. № 1. С. 116–121.
3. Демьяненко М.А., Козлов А.И., Новоселов А.Р., Овсюк В.Н. О мозаичных неохлаждаемых микроболометрических приемниках инфракрасного и терагерцового диапазонов // Автометрия. 2016. Т. 52. № 2. С. 115–121.
4. Демьяненко М.А., Есаев Д.Г., Клименко А.Г., Козлов А.И., Марчишин И.В., Новоселов А.Р., Овсюк В.Н. Преобразование изображений в мозаичных неохлаждаемых микроболометрических приемниках инфракрасного и терагерцового диапазонов форматом до 3072×576 и более // Оптический журнал. 2014. Т. 81. № 3. С. 35–43.
5. Новоселов А.Р. Способ формирования граней чипа для мозаичных фотоприемных модулей // Патент России № 2509391. 2014.

6. Орлов А.М., Соловьев А.А., Явтушенко И.О., Скворцов А.А. О перераспределении дислокаций в монокристаллах кремния вблизи концентраторов напряжений // Физика твердого тела. 2007. Т. 49. № 6. С. 1039–1043.
7. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. М.: Радио и связь, 1991. 528 с.
8. Демьяненко М.А., Козлов А.И., Марчишин И.В., Овсюк В.Н. Создание аналого-цифровых кремниевых мультиплексоров сигналов фотоприемников инфракрасного диапазона // Автометрия. 2016. Т. 52. № 6. С. 120–127.
9. Козлов А.И. Анализ принципов построения схем кремниевых мультиплексоров для многоэлементных ИК фотоприемников // Автометрия. 2010. Т. 46. № 1. С. 118–129.
10. Демьяненко М.А., Есаев Д.Г., Козлов А.И., Марчишин И.В., Овсюк В.Н., Филиппова В.В. Сдвиговый регистр (варианты) // Патент России № 2530271. 2014.
11. Демьяненко М.А., Есаев Д.Г., Козлов А.И., Марчишин И.В., Овсюк В.Н., Филиппова В.В. Кремниевый мультиплексор // Патент России № 2602373. 2016.
12. Демьяненко М.А., Новоселов А.Р., Козлов А.И., Есаев Д.Г., Овсюк В.Н. Мозаичный принцип создания неохлаждаемых микроболометрических приемников сверхвысокой размерности // Тез. докл. конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «Фотоника-2017». Новосибирск, 2017. С. 153.