Исследование и применение оптических плёнок оксида алюминия Al2O3 в ультрафиолетовом диапазоне спектра

Котликов Е.Н., Лавровская Н.П., Тенев Т.К., Милушев И.К.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Котликов Е.Н., Лавровская Н.П., Тихомир Колев Тенев, Илко Кирилов Милушев. Исследование и применение оптических плёнок оксида алюминия Al2O3 в ультрафиолетовом диапазоне спектра // Оптический журнал. 2022. Т. 89. № 12. С. 82–89. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2022-89-12-82-89

Kotlikov E.N., Lavrovskaya N.P., Tenev T.K., Milushev I.K. Aluminum oxide (Al2O3) optical films and their applications in the ultraviolet region of the spectrum [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2022. V. 89. № 12. P. 82–89. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2022-89-12-82-89

Ссылка на англоязычную версию:

E. N. Kotlikov, N. P. Lavrovskaya, T. K. Tenev, and I. K. Milushev, "Aluminum oxide (Al₂O₃) optical films and their applications in the ultraviolet region of the spectrum," Journal of Optical Technology. 89(12), 752-756 (2022). https://doi.org/10.1364/JOT.89.000752

Аннотация:

Предмет исследования. Приведены результаты исследования оптических плёнок оксида алюминия Al2O3 на подложке из кварца в ультрафиолетовом и видимом диапазонах спектра. Цель работы. Оптические константы плёнок определялись спектрофотометрическим методом по спектрам отражения и пропускания. Метод. Для этого использована оригинальная методика коррекции спектров плёнок с учётом поглощения. Основные результаты. По свободным от поглощения спектрам в диапазоне 0,20–0,85 мкм определены показатели преломления, а по спектрам поглощения — коэффициенты экстинкции плёнок. Практическая значимость. Полученные константы использованы для синтеза и изготовления высокоотражающих зеркал в ультрафиолетовой области спектра в диапазоне 0,22–0,23 мкм.

Ключевые слова:

оптические плёнки, спектры, отражение, пропускание, поглощение, показатель преломления, коэффициент экстинкции, синтез, зеркала в ультрафиолетовой области спектра

Благодарность:

Работа выполнена по гранту № КП-06-Н57/5 от 16.11.2021 г. при финансовой поддержке Болгарской Академии наук и гранту МНиВО Российской Федерации № FSFR-2020-0004.

Коды OCIS: 120.01 20; 300.0300; 310.0310

Список источников:

1. Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Л.: Машиностроение, 1973. 224 с.
2. Середин П.В., Голощапов Д.Л., Лукин А.Н., Бондарев А.Д., Арсентьев И.Н., Растегаева М.Г., Тарасов И.С. Оптические устройства ультратонких плёнок Al2O3 на подложках GaAs (100) // Конденсированные среды и межфазные границы. 2014. Т. 16. № 2. С. 196–200.
3. Тропин А.Н. Пленкообразующие материалы для тонкослойных оптических покрытий: новые задачи и перспективы (обзор) // Успехи прикладной физики. 2016. Т. 4. № 2. С. 206–211.
4. Воронкова Е.М., Гречушников Б.Н., Дистлер Г.И., Петров И.П. Оптические материалы для инфракрасной техники. М.: Наука, 1965. 336 с.
5. Marvin J. Weber. Handbook of optical materials. NY: CRC Press, 2003. 499 p.
6. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1973. 720 с.
7. Gao L., Lemarchand F., Lequime M. Comparison of different dispersion models for single layer optical thin film index determination // Thin Solid Films. 2011. № 520. Р. 501–509.
8. Моргунов Р.Б., Коплак О.В., Дмитрием А.В. Физико-химические методы исследования. М.: ЕАОИ, 2013. 394 с.
9. Котликов Е.Н., Юрковец Е.В. Метод определения оптических констант поглощающих пленок. Подложки без поглощения // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 1. С. 59–64.
10. Котликов Е.Н., Коваленко И.И., Новикова Ю.А. Программа синтеза и анализа интерференционных покрытий FilmManager // Информационно-управляющие системы. 2015. № 3(76). С. 51–59.
11. Васильев Ф.П. Численные методы решения экстремальных задач. М.: Наука, 1980. 520 с.
12. Котликов Е.Н. Спектрофотометрический метод определения оптических констант материалов // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 2. С. 1–5.
13. Золотарев В.М., Морозов В.Н., Смирнова Е.В. Оптические постоянные природных и технических средств. Справочник. Л.: Химия, 1984. 216 с.
14. Котликов Е.Н., Котликов А.Н., Юрковец Е.В. Программное обеспечение для нахождения оптических констант пленок. Моделирование и ситуационное управление качеством сложных систем // Сб. докладов научной сессии ГУАП. С. Петербург, ГУАП. 2016. С. 253–257.
15. Котликов Е.Н., Юрковец Е.В. Анализ возможности применения численных методов для определения оптических констант пленок // Сб. докладов IV конференции по фотонике и информационной оптике. М.: МИФИ, 2015. С. 346–347.
16. Окатов М.А., Антонов М.Э., Байгожин А. и др. Справочник технолога-оптика. СПб.: Политехника, 2004. 679 с.
17. Мутилин С.В., Хасанов Т. Показатель преломления тонкой однородной пленки SiO2 // Оптика и спектроскопия. 2008. Т. 105. № 3. С. 505–510.