УДК: 539.294

К теории эллипсометрии реальной поверхности

Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Шаймарданов Р.Г., Иванов В.А., Михайлов А.В.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Шаймарданов Р.Г., Иванов В.А., Михайлов А.В. К теории эллипсометрии реальной поверхности // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 1. С. 53–56.

Gainutdinov I.S., Nesmelov E.A., Shaimardanov R.G., Ivanov V.A., Mikhailov A.V. On the theory of the ellipsometry of an actual surface [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2008. V. 75. № 1. P. 53–56.

Ссылка на англоязычную версию:

I. S. Gaĭnutdinov, E. A. Nesmelov, R. G. Shaĭmardanov, V. A. Ivanov, and A. V. Mikhaĭlov, "On the theory of the ellipsometry of an actual surface," Journal of Optical Technology. 75 (1), 41-43 (2008). https://doi.org/10.1364/JOT.75.000041

Аннотация:

В работе рассмотрен вопрос о неправомерности описания шероховатости поверхности эффективным слоем в случае эллипсометрических измерений. Показано, что остаточный сигнал эллипсометра определяется рассеянием излучения на измеряемой поверхности.

Коды OCIS: 260.2130

Список источников:

1. Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981.

2. Ржанов А.В. и др. Основы эллипсометрии. Новосибирск: Наука, 1979. 422 с.

3. Горшков М.М. Эллипсометрия. М.: Советское радио, 1974.

4. Пшеницын В.И., Абаев М.И., Лызлов Н.Ю. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях. Л.: Химия, 1986.

5. Рожнов Г.В. Нелокальный тензор эффективной диэлектрической проницаемости шероховатой границы раздела однородных изотропных сред // ЖЭТФ. 1990. Т. 98. №5(11). С. 1737-1747.

6. Carniglia С.К., Jensen D.G. Single-layer model for surface roughness //Appl. Opt. 2002. V. 41. № 16. P. 3167-3171.

7. Несмелое Е.А., Мухамедов Р.К., Афанасьева А.Г., Мат-шина Н.П. Фотометрический способ определения высоты шероховатостей поверхности оптически прозрачных плоских деталей // Авт. свид. № 872959. СССР.

8. Топорец А.С. Отражение света шероховатой поверхностью // ОМП. 1979. № 1. С. 34-46.

9. Мазуренко М.Н., Скрелин А.Л., Топорец А.С. Фотометрический метод определения шероховатости непрозрачной поверхности // ОМП. 1979. № 11. С. 1.

10. Войшвилло Н.А., Лазарев В.П. Фотоэлектрический фотометр для контроля светорассеяния плоских зеркал с наружным покрытием // ОМП. 1956. № 2. С. 27-29.

11. Борисов А.Н., Гайнутдинов И.С, Панасенко Б.В., Кар-пюк Г.М. Рассеяние излучения многослойными интерференционными покрытиями // Аналитический обзор за 1975-1988 гг. № 5142. Москва, 1990. С. 3-26.

12. Джеррард А., Берч Дж.М. Введение в матричную оптику. М.: Мир, 1978.

13. Силин В.П. К вопросу об оптических постоянных проводников //ЖЭТФ. 1959. Т. 36. В. 5. С. 1443-1450.

14. Ван Си-фу, Силин В.П., Фетисов Е.П. Об оптических свойствах металлических пленок в области аномального скин-эффекта // Опт. и спектр. 1959. Т. 7. В. 4. С. 547-551.

15. Силин В.П., Рухадзе А.А. Электромагнитные свойства плазмы и плазмоподобных сред. М.: Атомиздат, 1961. 244 с.

16. Троицкий Ю.В. Многолучевые интерферометры отраженного света. Новосибирск: Наука, 1985. 207 с.

17. Троицкий Ю.В. Проводящая поверхность как модель для описания потерь на границах слоев диэлектрического многослойника // Опт. и спектр. 1988. Т. 64. В. 1. С. 140-146.

18. Топорец А.С. Оптика шероховатой поверхности. Л.: Машиностроение, 1988. 168 с.

19. Рогаткин Д.А. Рассеяние электромагнитных волн на случайно-шероховатой поверхности как граничная задача взаимодействия лазерного излучения со светорас-сеивающими материалами и средами // Опт. и спектр. 2004. Т. 97. № 3. С. 484-493.

20. Рожнов Г.В. Дифракция электромагнитных волн на шероховатой границе раздела однородных изотропных сред // Изв. вузов. Радиофизика. 1989. Т. 32. № 4. С. 451-460.

21. Рожнов Г.В. Рассеяние электромагнитных волн статистически неровными поверхностями // ЖЭТФ. 1988. Т. 94. В. 2. С. 50-63.

22. Борисов А.Н. Зеркала с малыми потерями и управляемой фазовой анизотропией // Автореф. дис. канд. техн. наук. Санкт-Петербург, 1995.

23. Гайнутдинов И.С, Несмелое Е.А., Борисов А.Н., Михайлов А.В. Оценка качества поверхности подложек для нанесения интерференционных покрытий // Оптический журнал. 2002. Т. 69. № 12. С. 68-75.

24. Landolt-Bornstein V. Metals: Electronic Transport Phenomena, Subvolume b. Springer-Verlag, 1985.