УДК: 53.082.53, 620.191.4

Эллипсометрические исследования поверхностного слоя полированного оптического стекла

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Одарич В.А. Эллипсометрические исследования поверхностного слоя полированного оптического стекла // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 2. С. 79–86.

Odarich V.A. Ellipsometric studies of the surface layer of polished optical glass [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2008. V. 75. № 2. P. 79–86.

Ссылка на англоязычную версию:

V. A. Odarich, "Ellipsometric studies of the surface layer of polished optical glass," Journal of Optical Technology. 75 (2), 132-137 (2008). https://doi.org/10.1364/JOT.75.000132

Аннотация:

Проведены эллипсометрические исследования свойств поверхностного слоя, который возникает при длительном механическом полировании оптического стекла марки К8. Установлено, что при относительно непродолжительном полировании стекла к полированному слою можно применять модель однородного диэлектрического слоя; определены параметры слоя - показатель преломления и толщина. Показатель преломления слоя несколько меньше показателя преломления ненарушенного стекла, а толщина изменяется в пределах 200-700 нм в зависимости от длительности полирования. На глубоко полированных образцах выявлены проявления неоднородности полированного стекла, которые можно описать переходным слоем на внешней границе полированного слоя толщиной около 50 нм.

Коды OCIS: 240.4350, 240.5450

Список источников:

1. Владимирова Т.В., Горбань Н.Я., Маслов В.П., Мель-ник Т.С, Одарич В.А. Исследование оптических свойств и строения поверхностного слоя ситалла // ОМП. 1979. № 9. С. 31-34.

2. Владимирова Т.В., Маслов В.П., Одарич В.А., Скачков М.М. Исследование методом эллипсометрии поверхности оптических материалов после механической обработки // ОМП. 1981. № 1. С. 60-61.

3. Маслов В.П., Одарич В.А. Эллипсометрические исследования механически полированных образцов некоторых оптических стекол // ОМП. 1983. № 3. С. 60-62.

4. Маслов В.П., Мельник Т.С., Одарич В.А. Эллипсометрические исследования поверхности кристаллического кварца после механической обработки //ОМП. 1985. № 4. С. 1-2.

5. Маслов В.П., Мельник Т.С., Одарич В.А. Контроль поверхности полированных стекол эллипсометрическим методом // Изв. вузов. Приборостроение. 1988. Т. 31. № 12. С. 67-69.
6. Yokota H., Sakata H., Nishibori M., Kinosita K. Ellipsometric study of polished glass surfaces // Surf. Sci. 1969. V. 16. № 1. P. 265–274.
7. Bennett J.M., King R.J. Effect of polishing technique on the roughness and residual surface film on fused quartz optical flats // Appl. Opt. 1970. V. 9. № 1. P. 236–238.
8. Malin M., Vedam K. Ellipsometric studies of environment sensitive polish layers // J. Appl. Phys. 1977. V. 48. № 3. P. 1155–1157.

9. Пшеницын В.И., Холдаров Н.Х., Храмцовский И.А., Калинина М.А., Тихомирова Н.И. Изменение оптических характеристик поверхностного слоя стекла при полировании // ОМП. 1987. № 8. С. 28-31.

10. Vedam К. Characterization of deffects in real surfaces by ellipsometry // Surf. Sci. 1976. V. 56. № 1. P. 221-236.

11. Мансуров K.M., Мамедов Р.К., Сударушкин А.С., Сидо-рин В.К., Сидорин К.К., Пшеницын В.И., Золотарев В.М. Исследование природы полированной поверхности кварцевого стекла методами эллипсометрии и спектроскопии // Опт. и спектр. 1982. Т. 52. В. 5. С. 852-857.

12. Нечаева Н.А., Журавлев К.И., Лисицын Ю.В. Применение метода эллипсометрии для оптимизации процесса глубокого полирования // ОМП. 1984. № 9. С. 61-62.

13. Храмцовский И.А., Пшеницын В.И. Влияние полирующего абразива на оптические характеристики поверхностного слоя // ОМП. 1987. № 7. С. 29-31.
14. Hitohiro F., Nobunori O., Nobuyuki K., Hiromishi K. Distributing of index of refraction in direction, normal to the polished surface of fused quartz, measured by the method of ellipsometry // J. Appl. Phys. 1979. V. 50. № 5. P. 3653–3657.

15. Храмцовский И.А., Пшеницын В.И., Мишин А.В., Толмачев В.А., Холдаров Н.Х. Исследование поверхност- 85 ных слоев свинцово-силикатного стекла методом эл-липсометрии // Физ. и хим. стекла. 1987. Т. 13. № 1. С. 104-111.
16. Neuman Klaus. Ellipsometric determination of the surface layers on the polished optical glasses // Opt. Acta. 1983. V. 30. № 7. P. 967–980.

17. Аюпов Б.М., Козлова Н.А. Обнаружение нарушенного слоя на поверхности кремния посредством метода монохроматической нулевой эллипсометрии // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 3. С. 72-76.

18. Толмачев В.А. Адсорбционно-эллипсомептрический метод исследования оптического профиля, толщины и пористости тонких пленок // Оптический журнал. 1999. Т. 66. №7. С. 20-34.

19. ТолмачевВ.А. Определение толщины толстых прозрачных пленок с помощью метода многоугловой эллипсометрии // Оптический журнал. 2002. Т. 69. № 1. С. 73-76.

20. Бятец М.А., Кущ B.I., Одарич В.А., Панасюк В.Й. Елiпсометричнi дослiдження дiелектричних mapiв, на-пилених на кварцове скло // Вiсник Киiвського унiверситету. Фiз.-мат. науки. 1992. № 7. С. 7-12.

21. ГОСТ 13659-68. Стекло оптическое бесцветное. Физ.-хим. свойства. М.: Изд-во стандартов, 1968. 60 с.