Получение особо чистых химических материалов для процессов химического, плазмохимического и пиролитического осаждения тонких оксидных слоев

Потелов В.В. Получение особо чистых химических материалов для процессов химического, плазмохимического и пиролитического осаждения тонких оксидных слоев // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 8. С. 36–40.

Potelov V.V. Obtainin high-purity chemical materials for chemical, plasmachemical and purolytic deposition of thin oxide films [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2009. V. 76. № 8. P. 36–40.

V.V. Potelov, "Obtainin high-purity chemical materials for chemical, plasmachemical and purolytic deposition of thin oxide films," Journal of Optical Technology. 76 (8), 478-481 (2009). https://doi.org/10.1364/JOT.76.000478

Рассмотрены вопросы очистки кремнийэлементорганических соединений и алкоголятов элементов методами ректификации, кристаллизации и адсорбции для процессов получения тонких оксидных слоев, а также многослойных структур различного функционального назначения.