УДК: 621.793

Контроль оптических толщин осаждаемых слоев непосредственно на рабочих образцах в процессе роста

Гайнутдинов И.С., Гусев А.Г., Душин А.В., Мустаев Р.М., Насыров А.Р., Мирханов Н.Г., Михайлов А.В.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Гайнутдинов И.С., Гусев А.Г., Душин А.В., Мустаев Р.М., Насыров А.Р., Мирханов Н.Г., Михайлов А.В. Контроль оптических толщин осаждаемых слоев непосредственно на рабочих образцах в процессе роста // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 1. С. 82–86.

Gainutdinov I.S., Gusev A.G., Dushin A.V., Mustaev R.M., Nasyrov A.R., Mirkhanov N.G., Mikhailov A.V. Directly monitoring the optical thicknesses of deposited layers on the working samples while they are being grown [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2010. V. 77. № 1. P. 82–86.

Ссылка на англоязычную версию:

I. S. Gaĭnutdinov, A. G. Gusev, A. V. Dushin, R. M. Mustaev, A. R. Nasyrov, N. G. Mirkhanov, and A. V. Mikhaĭlov, "Directly monitoring the optical thicknesses of deposited layers on the working samples while they are being grown," Journal of Optical Technology. 77(1), 63-66 (2010). https://doi.org/10.1364/JOT.77.000063

Аннотация:

Проведен анализ ошибок фотометрического контроля толщин слоев при вакуумном напылении многослойных интерференционных систем. Показано, что при контроле толщин растущего слоя по изменению спектральной характеристики пропускания (отражения) в определенном интервале длин волн погрешность измерения сигнала не более 1% приводит к существенным ошибкам контроля толщин осаждаемых слоев. В случае контроля сквозным методом на расчетных фиксированных длинах волн ошибки менее значительны. Предложена оптическая система, позволяющая проводить контроль толщины слоев покрытия в процессе их нанесения по отражению непосредственно по рабочим деталям или свидетелю, расположенному рядом с деталями на куполе вращения.

Ключевые слова:

фотометрический контроль, многослойные интерференционные системы

Коды OCIS: 310.3840

Список источников:

1. Гусев А.Г., Несмелов Е.А. Автоматизация контроля оптических толщин пленок в процессе нанесения интерференционных покрытий //ОМП. 1989. Т. 56. № 9. C. 34–36.
2. Несмелов Е.А., Борисов А.Н., Никитин А.С., Гайнутдинов И.С. Влияние структуры слоев интерференционного покрытия на его оптические свойства // Оптический журнал. 1996. Т. 63. № 11. С. 29–32.
3. Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Хайбулин И.Б. Интерференционные покрытия для оптического приборостроения. Казань: ФЭН, 2002. 592 с.
4. Фурман Ш.А. Тонкослойные оптические покрытия. Л.: Машиностроение, 1977. 257 с.
5. Несмелов Е.А., Гусев А.Г., Матшина Н.П., Конюхов Г.П. Математическое моделирование метода оптического контроля толщин слоев интерференционного покрытия // ОМП. 1987. Т. 54. № 6. С. 14–15.
6. Берндт К.Г. Методы контроля и измерения толщины пленок и способы получения пленок, однородных по толщине // Физика тонких пленок / Под ред. Хасса Г. и Туна Р.Э. М.: Мир, 1968. Т. 3. С. 7–57.