УДК: 681.3, 681.7.023.7

Исследование полированных поверхностей халькогенидов цинка путем компьютерного распознавания дефектов на микрофотографиях

Гаврищук Е.М., Вилкова Е.Ю., Тимофеев О.В., Колесников А.Н.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Гаврищук Е.М., Вилкова Е.Ю., Тимофеев О.В., Колесников А.Н. Исследование полированных поверхностей халькогенидов цинка путем компьютерного распознавания дефектов на микрофотографиях // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 1. С. 87–94.

Gavrishchuk E.M., Vilkova E.Yu., Timofeev O.V., Kolesnikov A.N. Investigating the polished surfaces of zinc chalcogenides by computer recognition of defects on micrographs [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2010. V. 77. № 1. P. 87–94.

Ссылка на англоязычную версию:

E. M. Gavrishchuk, E. Yu. Vilkova, A. N. Kolesnikov, and O. V. Timofeev, "Investigating the polished surfaces of zinc chalcogenides by computer recognition of defects on micrographs," Journal of Optical Technology. 77(1), 67-73 (2010). https://doi.org/10.1364/JOT.77.000067

Аннотация:

Проведены исследования влияния теплофизических характеристик полировальных смол, давления, размера зерна используемого абразива, скорости вращения и частоты качания обрабатывающего инструмента на процесс механического и химико-механического полирования селенида и сульфида цинка и качество получаемых поверхностей. Разработан алгоритм компьютерного распознавания дефектов на микрофотографиях полированных поверхностей халькогенидов цинка. Получены зависимости количественных характеристик дефектов на изображениях полированной поверхности халькогенидов цинка от параметров процесса механического и химико-механического полирования.

Ключевые слова:

халькогениды цинка, дефекты поверхности, химико-механическое полирование

Коды OCIS: 220.0220, 240.5450

Список источников:

1. Окатов М.А. Справочник технолога-оптика / Под ред. Окатова М.А. 2-е изд., перераб. и доп. СПб.: Политехника, 2004. 679 с.
2. Гаврищук Е.М., Тимофеев О.В., Погорелко А.А., Сучков А.И. Влияние условий полирования на оптические свойства поверхности селенида цинка // Неорганические материалы. 2004. Т. 40. № 3. С. 267−271.
3. Гаврищук Е.М., Потелов В.В., Сеник Б.Н., Тимофеев О.В. Влияние условий полирования на качество обработки оптических поверхностей элементов из селенида цинка для изделий, работающих в ИК диапазоне // Прикладная физика. 2005. № 5. С. 107−111.
4. Тимофеев О.В., Кушнир С.Р., Гаврищук Е.М., Радбиль Б.А. Разработка полировочных и наклеечных смол для изготовления оптических элементов из CVD–ZnSe // Тез. докл. 12 конф. “Высокочистые вещества и материалы (получение, анализ, применение)” . Нижний Новгород, 2004. С. 299.
5. Девятых Г.Г., Коршунов И.А., Гаврищук Е.М., Мурский Г.Л., Игнатьев С.В., Никоненко Д.В. Исследование объемных неоднородностей в поликристаллическом селениде цинка, полученном методом химического осаждения из газовой фазы // Высокочистые вещества. 1993. № 3. С. 16−23.
6. Гаврищук Е.М., Вилкова Е.Ю., Тимофеев О.В., Радбиль Б.А., Кушнир С.Р. Исследование процесса полирования поликристаллического селенида цинка с использованием полировальных смол на основе канифоли // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 83−89.