Исследование свойств пленок, полученных совместным испарением двух диэлектриков через диафрагму

Губанова Л.А., Путилин Э.С. Исследование свойств пленок, полученных совместным испарением двух диэлектриков через диафрагму // Оптический журнал. 2014. Т. 81. № 4. С. 72–76.

Gubanova L.A., Putilin E.S. Study of the properties of films obtained by simultaneously evaporating two dielectrics through a stop [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2014. V. 81. № 4. P. 72–76.

L. A. Gubanova and É. S. Putilin, "Study of the properties of films obtained by simultaneously evaporating two dielectrics through a stop," Journal of Optical Technology. 81(4), 223-226 (2014). https://doi.org/10.1364/JOT.81.000223

Описано формирование интерференционных диэлектрических покрытий с изменяющимися по радиальной координате показателем преломления и толщиной. Такие покрытия могут быть получены при одновременном осаждении пленкообразующих веществ из двух испарителей с разной скоростью через диафрагму, расположенную параллельно плоскости испарителей. Исследовано распределение показателя преломления покрытия, образованного при одновременном испарении двух пленкообразующих веществ из источников, находящихся на разных расстояниях от оси вращения подложки. Представлены экспериментальные данные о показателе преломления пленок при совместном испарении двух оксидов. Показано, что форм-факторы этих пар отличаются: у оксидов титана и кремния он равен единице, а у оксидов гафния и кремния равен нулю.