УДК: 681.723.26, 681.786.5

Трёхзеркальный интерферометр частично когерентного света для контроля рельефа поверхности

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Сысоев Е.В. Трёхзеркальный интерферометр частично когерентного света для контроля рельефа поверхности // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 10. С. 42–47.

Sysoev E.V. Three-mirror interferometer of partially coherent light for monitoring surface relief [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 10. P. 42–47.

Ссылка на англоязычную версию:

E. V. Sysoev, "Three-mirror interferometer of partially coherent light for monitoring surface relief," Journal of Optical Technology. 83(10), 613-617 (2016). https://doi.org/10.1364/JOT.83.000613

Аннотация:

Выполнен анализ интерференции частично когерентного света в трёхзеркальном интерферометре с низкокогерентным источником света. Показано, что при расстоянии, большем длины когерентности между двумя зеркалами, установленными в опорное плечо интерферометра, образуется множество слоёв когерентности (полизональная интерференция). Получено выражение, описывающее интерференцию частично когерентного света в трёхзеркальном интерферометре. Приведены результаты расчётов, моделирования и экспериментов.

Ключевые слова:

интерференция частично когерентного света, сканирующий интерферометр, интерференционный контроль рельефа поверхности, дифференциальная интерферограмма

Коды OCIS: 120.3180, 180.3170, 260.3160

Список источников:

1. Pavlicek P., Halouzka M., Duan Z., Takeda M. Spatial coherence profilometry on tilted surfaces // Applied Optics. 2009. V. 48. № 34. P. H40–H47.
2. Jung-Hwan K., Sung-Won Y., Jeong-Ho L., Woo-Jung A., Heui-Jae P. New algorithm of white-light phase shifting interferometry pursing higher repeatability by using numerical phase error correction schemes of pre-processor, main processor and post-processor // Optics and Lasers in Engineering. 2008. V. 46. № 2. P. 140–148.
3. Сысоев Е.В., Выхристюк И.А., Куликов Р.В., Поташников А.К., Разум В.А., Степнов Л.М. Интерференционный микроскоп-профилометр // Автометрия. 2010. Т. 46. № 2. C. 119–128.
4. Pavlicek P., Hýbl O. White-light interferometry on rough surfaces–measurement uncertainty caused by surface roughness // Applied Optics. 2008. V. 47. № 16. P. 2941–2949.
5. Кирилловский В.К. Оптические измерения. Ч. 3. СПб: Университет ИТМО, 2005. 45 c.
6. Сысоев Е.В., Голубев И.В. Способ измерения профиля поверхности. // Патент РФ № 2245515. 2005.
7. Сысоев Е.В., Голубев И.В., Чугуй Ю.В., Шахматов В.А. Измерение локальных отклонений профиля поверхности на основе интерференции частично когерентного света // Автометрия. 2004. Т. 40. № 4. С. 4.
8. Гудмен Д. Статистическая оптика. М.: Мир, 1988. 160 с.