УДК: 538.958, 539.234

Исследование тонкоплёночной гетероструктуры, получаемой с помощью лазерного напыления слоёв платины и цирконат-титаната свинца

Мавлянов Р.К., Виноградов А.Я., Калинин Д.А., Толмачёв В.А.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Мавлянов Р.К., Виноградов А.Я., Калинин Д.А., Толмачёв В.А. Исследование тонкоплёночной гетероструктуры, получаемой с помощью лазерного напыления слоёв платины и цирконат-титаната свинца // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 7. С. 32–37.

Mavlyanov R.K., Vinogradov A.Ya., Kalinin D.A., Tolmachev V.A. Study of thin-film heterostructures produced by laser deposition of a platinum and a lead zirconate titanate layer [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 7. P. 32–37.

Ссылка на англоязычную версию:

R. K. Mavlyanov, A. Ya. Vinogradov, D. A. Kalinin, and V. A. Tolmachev, "Study of thin-film heterostructures produced by laser deposition of a platinum and a lead zirconate titanate layer," Journal of Optical Technology. 83(7), 415-418 (2016). https://doi.org/10.1364/JOT.83.000415

Аннотация:

Исследована возможность получения слоёв Pt и цирконат-титаната свинца методом лазерного напыления. По данным оптической, электронной и атомно-силовой микроскопии слой цирконат-титаната свинца имеет шероховатость поверхностной структуры. Методом спектральной эллипсометрии исследованы оптические параметры получаемых слоёв, включающие дисперсию показателей преломления и поглощения как Pt, так и цирконат-титаната свинца с поверхностным слоем. По данным рентгеноструктурного анализа структура полученного слоя цирконат-титаната свинца обладает характерной кристаллографической ориентацией в направлении (111) перовскита. Подобные гетероструктуры используются в качестве сегнетоэлектрической ячейки памяти.

Ключевые слова:

дисперсия оптических констант, лазерное напыление, спектральная эллипсометрия, цирконат-титанат свинца

Благодарность:

Авторы благодарят акад. И.В. Грехова за ценные советы, Ю.А. Жарову за подготовку образцов для микроскопических исследований и полезные обсуждения, Н.А. Феоктистова за измерения на АСМ, А.В. Нащёкина за помощь в получении изображений на СЭМ и Н.В. Зайцеву за рентгеноструктурное исследование.

Коды OCIS: 310.6860, 240.2130

Список источников:

1. Воротилов К.А., Сигов А.С. Сегнетоэлектрические запоминающие устройства // Физика твердого тела. 2012. Т. 54. Вып. 5. С. 843–848.
2. Мавлянов Р.К., Виноградов А.Я., Толмачёв В.А. Исследование оптических свойств слоёв цирконат-титаната свинца, получаемых методом магнетронного распыления // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 2. С. 3–8.

3. Воротилов К.К., Сигов А.Г. Сегнетоэлектрические запоминающие устройства: перспективные технологии и материалы // Нано- и микросистемная техника. 2008. № 10 (99). С. 30–428.
4. Предтеченский М.Р., Майоров А.П. Разлет лазерной плазмы в кислороде в условиях напыления ВТСП пленок // Сверхпроводимость: физика, химия, техника. 1993. Т. 6. Вып. 5. С. 1018–1032.
5. Швец В.А., Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В., Михайлов Н.Н. Эллипсометрия – прецизионный метод контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением // Российские нанотехнологии. 2009. Т. 4. № 3–4. С. 201–214.
6. Аззам Р., Башара Н.. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 583 c. Azzam R.M.A. and Bashara N.M. Ellipsometry and Polarized Light. Amsterdam–New York–Oxford: North-Holland Publishing Company, 1977. 529 p.
7. Handbook of Optical Constants of Solids / Ed. by Palik E.D. N.Y.: Academic Press, 1985. 804 p.
8. Bruggeman D.A.G. Berechnung verschiedener physikalischer Konstanten von heterogenen Substanzen. I. Dielektrizitätskonstanten und Leitfähigkeiten der Mischkörper aus isotropen Substanzen // Ann. Phys. 1935. B. 416. № 5. S. 636–664.
9. Koh J., Lu Y., Wronski C.R., Kuang Y., Collins R.W., Tsong T.T., Strausser Y.E. Correlation of real time spectroellipsometry and atomic force microscopy measurements of surface roughness on amorphous semiconductor thin films // App. Phys. Lett. 1996. V. 69. № 9. P. 1297–1299.
10. Thacher P.D. Refractive index and surface layers of ceramic (Pb, La)(ZrTi)О3 compounds // Appl. Opt. 1977. V. 16. № 12. Р. 3210–3213.
11. Lee H., Kang Y.S., Cho S.-J., Xiao B., Morkoç H., and Kang T.D. Visible-ultraviolet spectroscopic ellipsometry of lead zirconate titanate thin films // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 86. P. 262902.