Метод определения оптических констант плёнок на поглощающих подложках

Котликов Е.Н., Новикова Ю.А., Юрковец Е.В.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Котликов Е.Н., Новикова Ю.А., Юрковец Е.В. Метод определения оптических констант плёнок на поглощающих подложках // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 10. С. 64–69. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-10-64-69

Kotlikov E.N., Novikova Yu.A., Yurkovets E.V. Method for determining the optical constants of films on absorbing substrates [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2018. V. 85. № 10. P. 64–69. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-10-64-69

Ссылка на англоязычную версию:

E. N. Kotlikov, Yu. A. Novikova, and E. V. Yurkovets, "Method for determining the optical constants of films on absorbing substrates," Journal of Optical Technology. 85(10), 651-655 (2018). https://doi.org/10.1364/JOT.85.000651

Аннотация:

Описывается метод нахождения оптических констант плёнок — показателей преломления и коэффициентов поглощения на подложках, обладающих поглощением. Метод основан на коррекции оптических спектров плёнок на подложках, которая производится с учётом эффекта поглощения в подложке. Полученные после коррекции спектры свободны от влияния поглощения и могут быть проанализированы известными методами для непоглощающих плёнок на непоглощающих подложках. Для иллюстрации предложенного метода проведён анализ спектров оптических плёнок CaY2F8 и найдены оптические константы этих плёнок в диапазоне спектра 1,4–25 мкм.

Ключевые слова:

функции коррекции, плёнки, подложки, кремний, фториды, дисперсия, показатель преломления, коэффициент поглощения, спектры отражения и пропускания

Благодарность:

Работа выполнена в рамках государственного задания № 3.8420.2017/БЧ.

Коды OCIS: 300.0300, 310.4165

Список источников:

1. Willey R.R. Practical production of optical thin films. Charlevoix: Optical Consultants, 2008. 419 p.
2. Котликов Е.Н., Кузнецов Ю.А., Лавровская Н.П., Тропин А.Н. Оптические пленкообразующие материалы для инфракрасной области спектра // Научное приборостроение. 2008. Т. 18. № 3. С. 32–37.
3. Котликов Е.Н., Новикова Ю.А., Тропин А.Н. Проектирование и изготовление интерференционных покрытий. СПб.: ГУАП. 2016. 288 с.
4. Тропин А.Н. Пленкообразующие материалы для тонкослойных оптических покрытий: новые задачи и перспективы (обзор) // Успехи прикладной физики. 2016. Т. 4. № 2. С. 206–211.

5. Gao L., Lemarchand F., Lequime M. Exploitation of multiple incidences spectrometric measurements for thin film reverse engineering // Optics Express. 2012. V. 20. № 14. P. 15734–15750.
6. Poelman D., Smet P.F. Methods for the determination of the optical constants of thin films from single transmission measurements: a critical review // J. Phys. D: Appl. Phys. 2003. V. 36. P. 1850–1857.
7. Котликов Е.Н., Юрковец Е.В. Метод определения оптических констант поглощающих пленок. Подложки без поглощения // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 1. С. 59–64.
8. Справочник технолога-оптика // Политехника / Под ред. Окатова М.А. Л.: Машиностроение, 2004. 679 с.
9. Котликов Е.Н., Новикова Ю.А. Оптические константы кремния в диапазоне 30–10000 см–1 // Оптика и спектрометрия. 2016. Т. 120. № 5. С. 165–168.
10. Яковлев П.П., Мешков Б.Б. Проектирование интерференционных покрытий. М.: Машиностроение, 1987. 192 с.
11. Коновалова О.П., Шаганов И.И. Определение оптических констант слабо-поглощающих диэлектрических слоев на прозрачной подложке // ОМП. 1988. № 8. С. 39–41.
12. Котликов Е.Н. Спектрофотометрический метод определения оптических констант материалов // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 2. С. 3–7.
13. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970. 856 с.
14. Котликов Е.Н., Котликов А.Н., Юрковец Е.В. Программное обеспечение для нахождения оптических констант пленок // Моделирование и ситуационное управлением качеством сложных систем. Сб. докладов Научной сессии ГУАП. 2016. С. 253–257.