Методы анализа качества дифракционных решеток для датчиков линейного перемещения

Шишова М.В., Одиноков С.Б., Лушников Д.С., Жердев А.Ю.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Шишова М.В., Одиноков С.Б., Лушников Д.С., Жердев А.Ю. Методы анализа качества дифракционных решеток для датчиков линейного перемещения // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 7. С. 27–32. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-07-27-32

Shishova M.V., Odinokov S.B., Lushnikov D.S., Zherdev A.Yu. Methods for analyzing quality of diffraction gratings for linear-displacement sensors [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2018. V. 85. № 7. P. 27–32. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-07-27-32

Ссылка на англоязычную версию:

M. V. Shishova, S. B. Odinokov, D. S. Lushnikov, and A. Y. Zherdev, "Methods for analyzing quality of diffraction gratings for linear-displacement sensors," Journal of Optical Technology. 85(7), 396-400 (2018). https://doi.org/10.1364/JOT.85.000396

Аннотация:

Представлены основные методы анализа параметров дифракционных решеток. Проанализированы особенности применения дифракционных решеток в качестве измерительных шкал в системе датчика линейных перемещений. Предложены метод и критерий качества для контроля параметров реальных образцов измерительных шкал. Данный критерий обобщает все коэффициенты дифракционной эффективности, оказывающие влияние на формирование квадратурных сигналов в системе интерферометрического датчика линейных перемещений.

Ключевые слова:

дифракционная решетка, дифракционная эффективность, измерительная шкала, интерферометрический датчик линейных перемещений

Благодарность:

Работа выполнена в МГТУ им. Н.Э. Баумана при поддержке Минобрнауки России в рамках выполнения проектной части государственного задания (проект № 3.2236.2017/4.6).

Коды OCIS: 050.1950, 120.3940

Список источников:

1. Одиноков С.Б., Сагателян Г.Р., Ковалёв М.С. Расчет, конструирование и изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов: учебное пособие. М.: Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. 121 c.
2. Teimel A. Technology and applications of grating interferometers in high-prescision measurement // Precision Eng. 1992. V. 14. № 4. P. 147–154.
3. Комоцкий В.А., Корольков В.И., Соколов Ю.М. Исследование датчика линейных перемещений на основе двухфазовых дифракционных решеток // Автометрия. 2006. Т. 42. № 6. С. 105–112.
4. Jourlin Y., Jay J., Parriaux O. Compact diffractive interferometric displacement sensor in reflection // Precision Eng. 2002. V. 26. № 1. P. 1–6.
5. Щеулин А.С., Агневакс А.Е., Купчиков А.К., Верховский Е.Б., Рысин А.И. Применение объемной голографической решетки в кристалле CaF2 для измерения линейного перемещения с нанометровой точностью // Опт. спектр. 2014. Т. 17. № 6. С. 1005–1011.
6. Афанасьев В.А. Оптические измерения. М.: Высшая школа, 1981. 229 с.
7. Полещук А.Г., Корольков В.П., Насыров Р.К., Хомутов В.Н., Конченко А.С. Методы контроля оптических элементов с микрорельефом // II международ. конф. и молодежная школа «Информационные технологии и нанотехнологии»: Сб. тр. / Самара: Самарский государственный аэрокосмический университет, 2016. С. 8–14.
8. Полещук А.Г., Корольков В.П., Насыров Р.К., Хомутов В.Н., Конченко А.С. Методы оперативного контроля характеристик дифракционных и конформальных оптических элементов // Компьютерная оптика. 2016. Т. 40. № 6. С. 818–828.
9. Полещук А.Г., Хомутов В.Н., Маточкин А.Е., Насыров Р.К., Черкашин В.В. Лазерные интерферометры для контроля формы оптических поверхностей // Фотоника. 2016. № 4. С. 38–51.
10. Белоусов Д.А., Полещук А.Г., Хомутов В.Н. Контроль пространственного распределения оптического излучения, рассеянного дифракционной структурой // Компьютерная оптика. 2015. Т. 39. № 5. С. 678–686.
11. Турухано Б.Г., Турухано Н., Вилков Е.А. Синтез апертуры интерференционного поля // Компьютерная оптика. 2011. Т. 35. № 2. С. 145–150.
12. Коротаев В.В., Прокофьев А.В., Тимофеев А.Н. Оптико-электронные преобразователи линейных и угловых перемещений. Часть 1. Оптико-электронные преобразователи линейных перемещений. СПб.: НИУ ИТМО, 2012. 114 с.
13. Shishova M.V., Odinokov S.B., Lushnikov D.S., Zherdev A.Y., Gurylev O.A. Mathematical modeling of signal transfer process into linear displacement encoder optical system // Procedia Eng. 2017. V. 201. P. 623–629.