Автоматизированная система поиска дефектов оптических деталей

Бельков С.А., Воронич И.Н., Губкин А.С., Деркач В.Н., Деркач И.Н., Добиков А.В., Лащук В.О., Щеников В.А. Автоматизированная система поиска дефектов оптических деталей // Оптический журнал. 2019. Т. 86. № 5. С. 57–60. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-05-57-60

Belkov S.A., Voronich I.N., Gubkin A.S., Derkach V.N., Derkach I.N., Dobikov A.V., Lashchuk V.O., Shchenikov V.A. Automated system for finding flaws in optical components [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2019. V. 86. № 5. P. 57–60. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-05-57-60

S. A. Bel’kov, I. N. Voronich, A. S. Gubkin, V. N. Derkach, I. N. Derkach, A. V. Dobikov, V. O. Lashchuk, and V. A. Shchenikov, "Automated system for finding flaws in optical components," Journal of Optical Technology. 86(5), 306-309 (2019). https://doi.org/10.1364/JOT.86.000306

Наличие в стекле дефектов — пузырей, свилей и царапин, снижает оптическую прочность деталей и ведет к интенсивному рассеянию света и потерям энергии излучения, а также к возникновению амплитудных и фазовых искажений лазерного пучка, приводящих к развитию осцилляций интенсивности. Представленная система поиска дефектов оптических деталей работает в полуавтоматическом режиме и позволяет находить различные дефекты, а также определять их координаты и размеры. Характеристики системы: минимальный размер обнаруживаемого дефекта — 30 мкм, абсолютная погрешность определения его координат — 200 мкм, максимальная погрешность измерения размера — 10%. В процессе аттестации оптических деталей используются теневой или торцевой методы подсветки, в ряде случаев — их комбинация.