Оперативный контроль оптических прецизионных углоизмерительных структур

Кирьянов А.В., Зотов А.А., Каракоцкий А.Г., Кирьянов В.П., Петухов А.Д., Чуканов В.В.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Кирьянов А.В., Зотов А.А., Каракоцкий А.Г., Кирьянов В.П., Петухов А.Д., Чуканов В.В. Оперативный контроль оптических прецизионных углоизмерительных структур // Оптический журнал. 2019. Т. 86. № 9. С. 60–62. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-09-60-62

Kiriyanov A.V., Zotov A.A., Karakotskiy A.G., Kiriyanov V.P., Petukhov A.D., Chukanov V.V. On-line monitoring of optical precision goniometric structures [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2019. V. 86. № 9. P. 60–62. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-09-60-62

Ссылка на англоязычную версию:

A. V. Kir’yanov, A. A. Zotov, A. G. Karakotskiĭ, V. P. Kir’yanov, A. D. Petukhov, and V. V. Chukanov, "On-line monitoring of optical precision goniometric structures," Journal of Optical Technology. 86(9), 579-581 (2019). https://doi.org/10.1364/JOT.86.000579

Аннотация:

Показано, что в условиях промышленного производства при реализации 100%-го входного контроля метрологических характеристик прецизионных оптических углоизмерительных структур (круговых шкал, растров и многоразрядных кодовых дисков) перспективно применение дифференциального метода измерений. Приведен пример использования этого метода в автоматизированной установке для измерения и диагностики повреждений топологии рабочих образцов и фотошаблонов углоизмерительных структур.

Ключевые слова:

углоизмерительная структура, топология элемента, угловая погрешность, круговая измерительно-диагностическая установка

Благодарность:

Исследование выполнено за счет средств субсидии на финансовое обеспечение выполнения государственного задания (Проект IV.36.1.3 № гос. регистрации АААА-А17-11706061006-6) в ИАиЭ СО РАН.

Коды OCIS: 230.4000, 230.0250, 230.0040, 120.5475

Список источников:

1. Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов А.В., Кокарев С.А., Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико-механического завода на основе современных лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 8. C. 61–65.
2. Яхилевич Б.Ц., Фомкин Ю.В. Устройство для контроля дорожек лимбов угломерных приборов // А. с. № 1689756. Бюл. изобр. 1991. № 41. С. 65.
3. Бакулин С.И. Способ и устройство измерения углов и формирования угловых меток // А. с. № 2115885. Бюл. изобр. 1998. № 45. С. 34.
4. Кирьянов А.В., Кирьянов В.П., Волохов И.В., Бобков А.В. Использование метода кругового сканирования для формирования и контроля топологии прецизионных фотошаблонов интегральных датчиков физических величин // Оптический журнал. 2016. Т. 82. № 7. С. 26–31.
5. Portman V., Peschansky B. Phase-statistical method and device for high precision and high efficiency angular measurements // Precision Eng. 2001. V. 25. № 4. P. 309–315.
6. Кирьянов А.В., Кирьянов В.П., Чуканов В.В. Использование дифференциального метода измерений для контроля точности прецизионных углоизмерительных структур // Автометрия. 2016. Т. 52. № 4. С. 45–52.