Кирьянов Валерий Павлович

Кирьянов В.П., Бобков А.В., Гурин Н.А., Зотов А.А., Каракоцкий А.Г., Кирьянов А.В. Предварительно программируемая фокусировка микрообъектива углоизмерительной установки // Оптический журнал. 2021. Т. 88. № 5. С. 76–81. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2021-88-05-76-81

Kiriyanov V.P., Bobkov A.V., Gurin N.A., Zotov A.A., Karakotskyi A.G., Kiriyanov A.V. Preprogrammed focusing of a micro-objective of an angle-measuring setup [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2021. V. 88. № 5. P. 76–81. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2021-88-05-76-81

Кирьянов А.В., Зотов А.А., Каракоцкий А.Г., Кирьянов В.П., Петухов А.Д., Чуканов В.В. Оперативный контроль оптических прецизионных углоизмерительных структур // Оптический журнал. 2019. Т. 86. № 9. С. 60–62. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-09-60-62

Kiriyanov A.V., Zotov A.A., Karakotskiy A.G., Kiriyanov V.P., Petukhov A.D., Chukanov V.V. On-line monitoring of optical precision goniometric structures [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2019. V. 86. № 9. P. 60–62. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-09-60-62

Кирьянов А.В., Кирьянов В.П. Инвариантность результатов измерений к неидеальностям прозрачных носителей при контроле точности углоизмерительных структур // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 10. С. 43–49. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-10-43-49

Kiriyanov A.V., Kiriyanov V.P. Invariance of measurement results to the nonideal nature of transparent media when the accuracy of angle-measuring structures is being monitored [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2018. V. 85. № 10. P. 43–49. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-10-43-49

Кирьянов А.В., Кирьянов В.П., Волохов И.В., Бобков А.В. Использование метода кругового сканирования для формирования и контроля топологии прецизионных фотошаблонов интегральных датчиков физических величин // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 7. С. 26–31.

Kiriyanov A.V., Kiriyanov V.P., Volokhov I.V., Bobkov A.V. Using a circular-scanning method to form and monitor the topology of high-precision photomasks for integrated sensors of optical quantities [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 7. P. 26–31.