Предварительно программируемая фокусировка микрообъектива углоизмерительной установки

Бобков А.В., Гурин Н.А., Зотов А.А., Каракоцкий А.Г., Кирьянов А.В., Кирьянов В.П.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Кирьянов В.П., Бобков А.В., Гурин Н.А., Зотов А.А., Каракоцкий А.Г., Кирьянов А.В. Предварительно программируемая фокусировка микрообъектива углоизмерительной установки // Оптический журнал. 2021. Т. 88. № 5. С. 76–81. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2021-88-05-76-81

Kiriyanov V.P., Bobkov A.V., Gurin N.A., Zotov A.A., Karakotskyi A.G., Kiriyanov A.V. Preprogrammed focusing of a micro-objective of an angle-measuring setup [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2021. V. 88. № 5. P. 76–81. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2021-88-05-76-81

Ссылка на англоязычную версию:

V. P. Kir’yanov, A. V. Bobkov, N. A. Gurin, A. A. Zotov, A. G. Karakotskii, and A. V. Kir’yanov, "Preprogrammed focusing of a micro-objective of an angle-measuring setup," Journal of Optical Technology. 88(5), 282-285 (2021). https://doi.org/10.1364/JOT.88.000282

Аннотация:

В измерительных установках, используемых для контроля метрологических характеристик прецизионных оптических углоизмерительных структур (круговых шкал, растров и многоразрядных кодовых дисков), применение традиционных методов автоматической фокусировки микрообъективов, входящих в состав их считывающих головок, наталкивается на заметные осложнения. В таких установках предложено использовать принцип предварительно программируемой фокусировки (префокусировки) микрообъектива. Рассмотрена функциональная схема подсистемы префокусировки круговой измерительно-диагностической установки модели АЭ.1686 на базе линейного позиционирующего столика Nano-OP65M. Приведены экспериментальные результаты, полученные в ходе опытной эксплуатации установки с подобной подсистемой.

Ключевые слова:

автофокусировка, углоизмерительная структура, топология элемента, угловая погрешность, круговая измерительно-диагностическая установка

Благодарность:

Исследование выполнено за счет средств субсидии на финансовое обеспечение выполнения государственного задания ИАиЭ СО РАН в период с 2021 по 2023 гг.

Коды OCIS: 230.4000, 230.0250, 230.0040, 120.5475

Список источников:

1. Кирьянов А.В., Зотов А.А., Каракоцкий А.Г., Кирьянов В.П., Петухов А.Д., Чуканов В.В. Оперативный контроль оптических прецизионных углоизмерительных структур // Оптический журнал. 2019. Т. 86. № 9. С. 60–62.
2. Кирьянов А.В., Кирьянов В.П., Чуканов В.В. Использование дифференциального метода измерений для контроля точности прецизионных углоизмерительных структур // Автометрия. 2016. Т. 52. № 4. С. 45–52.

3. Кирьянов А.В., Зотов А.А., Каракоцкий А.Г., Кирьянов В.П., Петухов А.Д., Чуканов В.В. Особенности оперативного контроля прецизионных углоизмерительных структур // Измерительная техника. 2019. № 5. С. 31–36.
4. Кирьянов А.В., Кирьянов В.П., Волохов И.В., Бобков А.В. Использование метода кругового сканирования для формирования и контроля топологии прецизионных фотошаблонов интегральных датчиков физических величин // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 7. С. 26–31.
5. Кирьянов В.П., Коронкевич В.П., Наливайко В.И., Полещук А.Г. Киноформы. Оптическая система для синтеза элементов / Препринт № 99. Новосибирск: ИАиЭ СО АН СССР, 1979. 38 с.
6. Ведерников В.М., Верхогляд А.Г., Гуренко В.М., Касторский Л.Б., Кирьянов А.В., Кирьянов В.П., Кокарев С.А., Саметов А.Р. Лазерный генератор изображений для синтеза микрорельефа дифракционных оптических элементов на трехмерных осесимметричных поверхностях // Автометрия. 2004. Т. 40. № 2. С. 46–58.
7. Верхогляд А.Г., Гуренко В.М. и др. Способ автоматической фокусировки для записи информации на криволинейных поверхностях // Патент РФ № 2262749. Опубл. 27.05.2010, Бюл. № 29.
8. http://www.madcitylabs.com/nanoopseries.html