УДК: 53.087.92, 681.7.064.64

Использование метода кругового сканирования для формирования и контроля топологии прецизионных фотошаблонов интегральных датчиков физических величин

Кирьянов А.В., Кирьянов В.П., Волохов И.В., Бобков А.В.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Кирьянов А.В., Кирьянов В.П., Волохов И.В., Бобков А.В. Использование метода кругового сканирования для формирования и контроля топологии прецизионных фотошаблонов интегральных датчиков физических величин // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 7. С. 26–31.

Kiriyanov A.V., Kiriyanov V.P., Volokhov I.V., Bobkov A.V. Using a circular-scanning method to form and monitor the topology of high-precision photomasks for integrated sensors of optical quantities [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 7. P. 26–31.

Ссылка на англоязычную версию:

A. V. Kir’yanov, V. P. Kir’yanov, I. V. Volokhov, and A. V. Bobkov, "Using a circular-scanning method to form and monitor the topology of high-precision photomasks for integrated sensors of optical quantities," Journal of Optical Technology. 83(7), 410-414 (2016). https://doi.org/10.1364/JOT.83.000410

Аннотация:

Проанализированы результаты формирования и контроля топологии фотошаблонов интегральных датчиков давления и угла поворота, полученные с помощью технологического и измерительного оборудования, работающего в полярной и декартовой системах координат. Показано, что для повышения точности изготовления и контроля данных изделий целесообразно использовать оборудование, реализующее метод кругового сканирования.

Ключевые слова:

лазерный генератор изображений, метод кругового сканирования, фотошаблон, интегральный датчик

Благодарность:

Авторы выражают благодарность сотрудникам Уральского оптико-механического завода (Екатеринбург) О.Б. Яковлеву и Д.Ю. Кручинину за помощь в проведении измерений на установке АС-700.
Исследование выполнено при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант РФФИ №13-07-00081).

Коды OCIS: 230.4000, 230.0250, 230.0040, 120.5475

Список источников:

1. Специальное технологическое оптико-механическое оборудование для производства изделий микроэлектроники «КБТЭМ – ОМО» [Electronic resours]. – Electronic date. – [s.1.: s.n., 2010]. – Access free: http//kb-omo.by/content/view. – Title from screen.
2. Heidelberg instruments mikrotechnik GmbH [Electronic resource]. – Electronic date. – [s.l.: s.n., 2013]. – Access free: http://www.himt.de/en/products. – Title from screen.
3. Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов А.В., Кокарев С.А., Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико-механического завода на основе современных лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 8. C. 61–65.
4. Кирьянов А.В., Кирьянов В.П. Улучшение метрологических характеристик лазерных генераторов изображений с круговым сканированием // Автометрия. 2010. Т. 46. № 5. С. 77–93.
5. Bartik S.A., Frizin S.E., Kiryanov V.P., Kiryanov A.V., Kokarev S.A., Kruchinin D.Yu., Nikitin V.G., Yakovlev O.B. Development of a technique for the determination of metrological parameters of technological system CLWS-300/C for synthesis of high precision angular measuring structures // AMS’04. Proc. 10th IMEKO TC7 Intern. Symp. Advances of Measurement Science. June 30–July 2, 2004, Saint-Petersburg, Russia. V. 2. P. 316–320.
6. Portman V., Peschansky B. Phase-statistical method and device for high precise and high-efficiency angular measurements // Precision Engineering. 2001. V. 25. P. 309–315.
7. Kojima T., Kikuchi Y., Seki S., Wakiwaka H. Study on high precision angle measuring technology // The 30th Annual Conf. IEEE Industrial Electron. Soc. 2004, Busan, Korea. P. 1530–1535.