Волохов Игорь Валерианович

Кирьянов А.В., Кирьянов В.П., Волохов И.В., Бобков А.В. Использование метода кругового сканирования для формирования и контроля топологии прецизионных фотошаблонов интегральных датчиков физических величин // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 7. С. 26–31.

Kiriyanov A.V., Kiriyanov V.P., Volokhov I.V., Bobkov A.V. Using a circular-scanning method to form and monitor the topology of high-precision photomasks for integrated sensors of optical quantities [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 7. P. 26–31.