УДК: 535.317.1

Решение проблемы точного позиционирования объекта в лазерном сканирующем дифференциально-фазовом аберрометре

Григорук В.И., Пильгун Ю.В., Смирнов Е.Н.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Григорук В.И., Пильгун Ю.В., Смирнов Е.Н. Решение проблемы точного позиционирования объекта в лазерном сканирующем дифференциально-фазовом аберрометре // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 67–73.

Grigoruk V.I., Pilgun Yu.V., Smirnov E.N. Solving the problem of accurately positioning an object in a laser-based differential-phase scanning aberrometer [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2008. V. 75. № 9. P. 67–73.

Ссылка на англоязычную версию:

V. I. Grigoruk, Yu. V. Pil’gun, and E. N. Smirnov, "Solving the problem of accurately positioning an object in a laser-based differential-phase scanning aberrometer," Journal of Optical Technology. 75 (9), 589-594 (2008). https://doi.org/10.1364/JOT.75.000589

Аннотация:

На примере линзы проанализирована проблема точного расположения объекта в фокусе оптической схемы гетеродинного дифференциально-фазового интерферометра со сканированием пучков по полю. Получено теоретическое выражение для дифференциально-фазового портрета линзы. Предложено способ исключения погрешности, связанной с неточным расположением исследуемого объекта в фокальной плоскости объектива, методом проведения нескольких измерений фазы при контролируемом смещении гетеродинного фотоприемника в поперечном направлении. Проведена экспериментальная проверка, которая показала соответствие теоретических расчетов результатам измерения оптической силы линз.

Коды OCIS: 220.1000, 120.3180

Список источников:

1. See C.W., Iravani M.V., Wickramasinghe H.K. Scanning differential phase contract optical microscope: application to surface studies // Appl. Opt. 1985. V. 24. № 15. P. 2373.

2. Somekh M.G., Valera M.S., Appel R.K. Scanning heterodyne confocal differential phase and intensity microscope // Appl. Opt. 1995. V. 34. № 22. P. 4857.

3. Баранов Д.В., Егоров А.А., Золотов Е.М., Свидзинский К.К. Восстановление профиля микрообъекта в гетеродинном дифференциальном микроскопе // Опт. и спектр. 1997. Т. 83. № 3. С. 516.

4. Lin Y., Schill J., Wang R.-W. Instrumental noise effect in an optical heterodyne profiler // Appl. Opt. 1994. V. 33. № 22. P. 5005.

5. Carlson T.B., Denzer S.M., Greenlee T.R., Groschen R.P., Peterson R.W., Robinson G.M. Vibration-resistant direct-phase-detecting optical interferometers // Appl. Opt. 1997. V. 36. № 28. P. 7162.

6. Acosta E., Bara S., Rama M.A., Rios S. Determination of phase mode components in terms of local wave-front slopes: an analytical approach // Opt. Lett. 1995. V. 20. № 10. P. 1083.

7. Гудмен Дж. Введение в Фурье оптику / Пер. с англ. М.: Мир, 1970. 364 с.

8. Ярив А., Юх П. Оптические волны в кристаллах / Пер. с англ. М.: Мир, 1987. 616 с.