УДК: 29.33.39
Формирование покрытий при одновременном испарении двух диэлектриков
Полный текст «Оптического журнала»
Полный текст на elibrary.ru
Публикация в Journal of Optical Technology
Губанова Л.А., Путилин Э.С. Формирование покрытий при одновременном испарении двух диэлектриков // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 8. С. 73–76.
Gubanova L. A. and Putilin É. S. The formation of coatings when two dielectrics are evaporated simultaneously [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2013. V. 80. № 8. Р. 73–76.
L. A. Gubanova and É. S. Putilin, "The formation of coatings when two dielectrics are evaporated simultaneously," Journal of Optical Technology. 80(8), 523-525 (2013). https://doi.org/10.1364/JOT.80.000523
Рассмотрена возможность формирования покрытий при одновременном испарении двух различных диэлектриков с постоянными по радиальной координате толщиной и показателем преломления. Приведено распределение толщины и показателя преломления покрытия, образованного при одновременном испарении двух плёнкообразующих материалов из источников, находящихся на одинаковых расстояниях от оси вращения подложки.
интерференционные покрытия, одновременное испарение, два источника, диэлектрики, толщина, показатель преломления
Список источников:1. Губанова ЛА., Путилин Э.С. Интерференционные фильтры, формирующие фазовые и амплитудные характеристики отраженного и прошедшего излучения // Оптический журнал. 1995. Т. 62. № 8. С. 72-77.
2. Губанова Л А, Путилин Э.С., Старовойтов С.Ф. Влияние примесей окисла на поглощение металлических плёнок // Оптико-механическая промышленность. 1991. Т. 56. № 3. С. 19-21.
3. Р. Якобсон. Неоднородные и совместно напылённые однородные плёнки для оптических применений // Физика тонких пленок // под ред. Г.Хасса. М.: Мир. 1978. Т. 8. С. 61-66.
4. К. Robbie, Yan Сиi, С. Elliott, К. Kaminska. Oxidation of evaporated porous silicon rugate Iters // Applied Optics, 2006, V. 45, № 10. P. 8298-8303.
5. Жиглинский А.Г., Путилин Э.С. Оптимальные условия формирования однородных плёнок // Оптикомеханическая промышленность. 1971. № 9. С. 27-30.