Улучшение точности измерений датчика энергии импульсов излучения эксимерного лазера на основе специального фильтра импульсного отклика с конечной длительностью

Xie Chengke, Chen Ming, Zhu Jing, Yang Baoxi, Huang Huijie

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Chengke Xie, Ming Chen, Jing Zhu, Baoxi Yang, Huijie Huang Measurement precision improvement for excimer laser pulse energy sensor based on a special finite impulse response filter (Улучшение точности измерений датчика энергии импульсов излучения эксимерного лазера на основе специального фильтра импульсного отклика с конечной длительностью) [на англ. яз.] // Оптический журнал. 2017. Т. 84. № 5. С. 75–79.

Chengke Xie, Ming Chen, Jing Zhu, Baoxi Yang, Huijie Huang Measurement precision improvement for excimer laser pulse energy sensor based on a special finite impulse response filter (Улучшение точности измерений датчика энергии импульсов излучения эксимерного лазера на основе специального фильтра импульсного отклика с конечной длительностью) [in English] // Opticheskii Zhurnal. 2017. V. 84. № 5. P. 75–79.

Ссылка на англоязычную версию:

Chengke Xie, Ming Chen, Jing Zhu, Baoxi Yang, and Huijie Huang, "Measurement precision improvement for excimer laser pulse energy sensor based on a special finite impulse response filter," Journal of Optical Technology. 84(5), 346-349 (2017). https://doi.org/10.1364/JOT.84.000346

Аннотация:

При создании литографических устройств, работающих в дальней ультрафиолетовой области спектра, важна точность измерения энергии импульсов эксимерных лазеров. Проведение измерений в процессе мониторинга лазерных импульсов для контроля экспозиционной дозы осложняется наличием шумов датчиков энергии. Для улучшения точности измерений и уменьшения влияния шумов предложен специальный фильтр импульсного отклика с конечной длительностью. В частности, ядро свертки этого фильтра получается из условия нелинейной подгонки формы выходного импульса источника. Экспериментально показано, что точность измерений с таким фильтром улучшается приблизительно в 2–3 раза. Для проверки работоспособности датчика энергии были проведены измерения пропускания эталона, изготовленного из стекла Corning 7890, продемонстрировавшие погрешность измерений 0,11% и совпадение результатов с измеренными стандартными ультрафиолетовыми спектрометрами.

Ключевые слова:

жидкокристаллические модуляторы, световые поля со сложной пространственной структурой, динамическое управление

Коды OCIS: 110.5220; 140.2180; 250.0040; 120.4800; 120.3940; 120.7000

Список источников:

1. Postnikov S., Hector S., Garza C., Peters R, Ivin V. Critical dimension control in optical lithography // Microelectronic Eng. 2003. V. 69. P. 452–458.
2. Kivenzor G. and Zimmerman R. Dose metrology for DUV lithographic tools // Proc. SPIE. 2001. V. 4404. P. 368–371.
3. Tracy D.H., Wu F.Y. Exposure dose control techniques for excimer laser lithography // Proc. SPIE. 1988. V. 922. P. 437–443.
4. Guo L., Huang H., Wang X., and Zhang D. Exposure dose control for step-and-scan lithography // Proc. SPIE. 2005. V. 5645. P. 217–222.
5. Liu S., Wu X. Real-time exposure dose control algorithm for DUV excimer lasers // Acta Optica Sinica (in Chinese). 2011. V. 26. P. 878–884.
6. Hu C. Design and verification of FIR filter based on Matlab and DSP // Proc. Intern. Conf. Image Analysis and Signal Processing (IASP). 2012.
7. Chen X. and Koenders L. A novel pitch evaluation of one-dimensional gratings based on a cross-correlation filter // Meas. Sci. Technol. 2014. V. 25. P. 044007.
8. Diaz-Ramirez V.H., Picos K., and Kober V. Target tracking in nonuniform illumination conditions using locally adaptive correlation filters // Opt. Commun. 2014. V. 323. P. 32–43.
9. Xu P., Miao Q., Tang X., and Zhang J. A denoising algorithm via wiener filtering in the shearlet domain // Multimed Tools Appl. 2014. V. 71. P. 1529–1558.
10. Zhao S., Shmaliy Y.S., Liu F. Fast computation of discrete optimal FIR estimates in white Gaussian noise // IEEE Signal Process. Lett. 2015. V. 22. P. 718–722.