|
Chengke Xie, Ming Chen, Jing Zhu, Baoxi Yang, Huijie Huang Measurement precision improvement for excimer laser pulse energy sensor based on a special finite impulse response filter (Улучшение точности измерений датчика энергии импульсов излучения эксимерного лазера на основе специального фильтра импульсного отклика с конечной длительностью) [на англ. яз.] // Оптический журнал. 2017. Т. 84. № 5. С. 75–79.
Chengke Xie, Ming Chen, Jing Zhu, Baoxi Yang, Huijie Huang Measurement precision improvement for excimer laser pulse energy sensor based on a special finite impulse response filter (Улучшение точности измерений датчика энергии импульсов излучения эксимерного лазера на основе специального фильтра импульсного отклика с конечной длительностью) [in English] // Opticheskii Zhurnal. 2017. V. 84. № 5. P. 75–79.
|
Аннотация
|
|
Shuaiyan Gu, Lei Liu, Shiyu Hu, Aijun Zeng, Linglin Zhu, Huijie Huang Simple phase shifting lateral shearing interferometer based on thick birefringent plate (Простой интерферометр сдвига с регулировкой фазы на основе толстой двулучепреломляющей пластины) [на англ. яз.] // Оптический журнал. 2017. Т. 84. № 4. С. 50–54.
Shuaiyan Gu, Lei Liu, Shiyu Hu, Aijun Zeng, Linglin Zhu, Huijie Huang Simple phase shifting lateral shearing interferometer based on thick birefringent plate (Простой интерферометр сдвига с регулировкой фазы на основе толстой двулучепреломляющей пластины) [in English] // Opticheskii Zhurnal. 2017. V. 84. № 4. P. 50–54.
|
Аннотация
|
|
Ming Chen, Fang Zhang, Aijun Zeng, Jing Zhu, Baoxi Yang, and Huijie Huang Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography (Способ формирования зрачка для внеосевого освещения в оптической литографии) [на англ. яз.] // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 3. С. 20–26.
Ming Chen, Fang Zhang, Aijun Zeng, Jing Zhu, Baoxi Yang, and Huijie Huang Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography (Способ формирования зрачка для внеосевого освещения в оптической литографии) [in English] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 3. P. 20–26.
|
Аннотация
|
|
Chengke Xie, Linglin Zhu, Qiao Yuan, Fanyue Li, Aijun Zeng, Huijie Huang Real-time measurement of retardation and fast axis azimuth for wave plates [на англ. яз.] // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 5. С. 37–41.
Chengke Xie, Linglin Zhu, Qiao Yuan, Fanyue Li, Aijun Zeng, Huijie Huang Real-time measurement of retardation and fast axis azimuth for wave plates [in English] // Opticheskii Zhurnal. 2015. V. 82. № 5. P. 37–41.
|
Аннотация
|
|
Yunbo Zhang, Aijun Zeng, Huijie Huang, Wenmei Hou Large-area three-dimensional profilometer based on digital micromirror device [на англ. яз.] // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 2. С. 51–56.
Yunbo Zhang, Aijun Zeng, Huijie Huang, Wenmei Hou Large-area three-dimensional profilometer based on digital micromirror device [in English] // Opticheskii Zhurnal. 2015. V. 82. № 2. P. 51–56.
|
Аннотация
|
Назад
