Высокоточный метод контроля параметров локальных отклонений нанометрового уровня поверхности оптической детали

Барышников Н.В., Денисов Д.Г., Карасик В.Е., Абдулкадыров М.А., Игнатов А.Н., Патрикеев В.Е., Семенов А.П., Морозов А.Б., Судариков И.Н., Шаров Ю.А.

Полный текст «Оптического журнала»

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Барышников Н.В., Денисов Д.Г., Карасик В.Е., Абдулкадыров М.А., Игнатов А.Н., Патрикеев В.Е., Семенов А.П., Морозов А.Б., Судариков И.Н., Шаров Ю.А. Высокоточный метод контроля параметров локальных отклонений нанометрового уровня поверхности оптической детали // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 3. С. 54–61. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-03-54-61

Baryshnikov N.V., Denisov D.G., Karasik V.E., Abdulkadyrov M.A., Ignatov A.N., Patrikeev V.E., Semenov A.P., Morozov A.B., Sudarikov I.N., Sharov Yu.A. Precision method of monitoring the parameters of the local nanometer-level deviations of an optical component’s surface [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2018. V. 85. № 3. P. 54–61. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-03-54-61

Ссылка на англоязычную версию:

N. V. Baryshnikov, D. G. Denisov, V. E. Karasik, M. A. Abdulkadyrov, A. N. Ignatov, V. E. Patrikeev, A. P. Semenov, A. B. Morozov, I. N. Sudarikov, and Yu. A. Sharov, "Precision method of monitoring the parameters of the local nanometer-level deviations of an optical component’s surface," Journal of Optical Technology. 85(3), 166-172 (2018). https://doi.org/10.1364/JOT.85.000166

Аннотация:

Разработан, научно обоснован и экспериментально подтвержден метод контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей крупногабаритных оптических деталей (элементов) от заданного профиля на основе алгоритма расчета целевой функции — спектральной плотности одномерной корреляционной функции в широком спектральном диапазоне пространственных частот. Проведены теоретические и экспериментальные исследования неисключенной систематической и случайной составляющих погрешности определения оптимизационного параметра используемой целевой функции — среднего квадратического отклонения локальных отклонений поверхностей крупногабаритных оптических деталей от заданного профиля.

Ключевые слова:

оптический контроль, характеристики волновых фронтов, характеристики профилей поверхностей, спектральная плотность корреляционной функции, динамическая интерферометрия, анализ случайных погрешностей, эффект «утечки» частоты

Коды OCIS: 220.0220, 220.0230, 220.4610, 350.1260

Список источников:

1. Абдулкадыров М.А., Добриков Н.С., Патрикеев А.П., Патрикеев В.Е., Семенов А.П.Технология изготовления высокоточных крупногабаритных облегченных асферических зеркал с высокой стабильностью формы поверхности // Оптический журнал. 2014. Т. 81. № 12. С. 6–15.
2. Абдулкадыров М.А., Белоусов С.П., Патрикеев А.П., Патрикеев В.Е., Семенов А.П. Изготовление оптических элементов составных зеркал для больших астрономических телескопов // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 4. С. 18–23.
3. Денисов Д.Г., Барышников Н.В., Гладышева Я.В., Карасик В.Е., Морозов А.Б., Патрикеев В.Е. Метод аттестационного контроля поверхностных неоднородностей оптических деталей на основе частотного анализа профиля поверхности // Измерительная техника. 2017. № 2. С. 15–19.
4. Campbell J.H., Hawley-Fedder R.A., Menapace J.A., Borden M.R. N IF optical m aterials a nd fabrication t echnologies // Proc. SPIE. 2004. V. 5341. DOI: 10.1117/12.538462
5. Денисов Д.Г., Карасик В.Е., Орлов В.М. Измерение параметров микронеровностей крупногабаритных шлифованных поверхностей оптических деталей при помощи лазерной интерферометрии // Метрология. 2009. № 9. С. 15–24.
6. Sidick E. Power spectral density specification and analysis of large optical surfaces // Proc. SPIE. 2009. V. 7390. DOI: 10.1117/12.823844
7. Alcocka S.G., Ludbrooka G.D., Owenb T., Dockreec R. Using the power spectral density method to characterise the surface topography of optical surfaces // Proc. SPIE. 2010. V. 7801. DOI: 10.1117/12.861539
8. ISO 10110-6:2015. Optics and photonics — Preparation of drawings for optical elements and systems — Part 6: Centring tolerances. 2nd ed. Vernier, Geneva, Switzerland: ISO, 2015.