-

Корешев С.Н., Ратушный В.П. Использование метода голографии для получения изображений двумерных объектов при решении задач фотолитографии высокого разрешения // Оптический журнал. 2004. Т.71. №10 С. 32-39.

Koreshev S.N., Ratushnyi V.P. Using the method of holography to obtain images of two-dimensional objects when solving problems of high-resolution photolithography [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2004. V. 71. No 10. P. 32-39.

Koreshev S.N., Ratushnyi V.P. Using the method of holography to obtain images of two-dimensional objects when solving problems of high-resolution photolithography // Journal of Optical Technology. 2004. V. 71. № 10. P. 673-679. https://doi.org/10.1364/JOT.71.000673