УДК: 621.373.826
-
Full text «Opticheskii Zhurnal»
Publication in Journal of Optical Technology
Либенсон М.Н., Шандыбина Г.Д. Лазерное импульсное микроструктурирование поверхности кремния // Оптический журнал. 2004. Т.71. №8 С. 9-13.
Libenson M.N., Shandybina G.D. Laser-pulse microstructuring of a silicon surface [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2004. V. 71. No 8. P. 9-13.
Libenson M.N., Shandybina G.D. Laser-pulse microstructuring of a silicon surface // Journal of Optical Technology. 2004. V. 71. № 8. P. 500-503. https://doi.org/10.1364/JOT.71.000500
OCIS codes: 1000.10000.