Petukhov, Alexander D.

Кирьянов А.В., Зотов А.А., Каракоцкий А.Г., Кирьянов В.П., Петухов А.Д., Чуканов В.В. Оперативный контроль оптических прецизионных углоизмерительных структур // Оптический журнал. 2019. Т. 86. № 9. С. 60–62. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-09-60-62

Kiriyanov A.V., Zotov A.A., Karakotskiy A.G., Kiriyanov V.P., Petukhov A.D., Chukanov V.V. On-line monitoring of optical precision goniometric structures [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2019. V. 86. № 9. P. 60–62. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-09-60-62