|
Chengke Xie, Ming Chen, Jing Zhu, Baoxi Yang, Huijie Huang Measurement precision improvement for excimer laser pulse energy sensor based on a special finite impulse response filter (Улучшение точности измерений датчика энергии импульсов излучения эксимерного лазера на основе специального фильтра импульсного отклика с конечной длительностью) [на англ. яз.] // Оптический журнал. 2017. Т. 84. № 5. С. 75–79.
Chengke Xie, Ming Chen, Jing Zhu, Baoxi Yang, Huijie Huang Measurement precision improvement for excimer laser pulse energy sensor based on a special finite impulse response filter (Улучшение точности измерений датчика энергии импульсов излучения эксимерного лазера на основе специального фильтра импульсного отклика с конечной длительностью) [in English] // Opticheskii Zhurnal. 2017. V. 84. № 5. P. 75–79.
|
Abstract
|
|
Ming Chen, Fang Zhang, Aijun Zeng, Jing Zhu, Baoxi Yang, and Huijie Huang Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography (Способ формирования зрачка для внеосевого освещения в оптической литографии) [на англ. яз.] // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 3. С. 20–26.
Ming Chen, Fang Zhang, Aijun Zeng, Jing Zhu, Baoxi Yang, and Huijie Huang Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography (Способ формирования зрачка для внеосевого освещения в оптической литографии) [in English] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 3. P. 20–26.
|
Abstract
|
Back
