ITMO
ru/ ru

ISSN: 1023-5086

ru/

ISSN: 1023-5086

Scientific and technical

Opticheskii Zhurnal

A full-text English translation of the journal is published by Optica Publishing Group under the title “Journal of Optical Technology”

Article submission Подать статью
Больше информации Back

Evtushenko, Evgeniy I.

Dr. Sc. (Engineering)

Affiliation
Belgorod State Technological University named after V.G. Shukhov, Belgorod, Russia

Articles

Нарцев В.М., Аткарская А.Б., Зайцев С.В., Осипенко Н.В., Прохоренков Д.С., Евтушенко Е.И. Эллипсометрия TiOx-покрытий, осажденных в магнетронной установке с несбалансированной магнитной системой. Влияние концентрации кислорода и дистанции "магнетрон-подложка" // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 4. С. 88–94.

 

Nartsev V.M., Atkarskaya A.B., Zaitsev S.V., Osipenko N.V., Prokhorenkov D.S., Evtushenko E.I. Ellipsometry of TiOx coatings deposited in a magnetron apparatus with an unbalanced magnetic system: effect of the oxygen concentration and the magnetron–substrate distance [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 4. P. 88–94.

Abstract