Карасев Н.Н., Путилин Э.С. Использование особенностей спектральных характеристик при контроле толщин слоев в процессе осаждения многослойных систем // Оптический журнал. 2004. Т.71. №10 С. 74-78.
Karasev N.N., Putilin É.S. Using features of the spectral responses when monitoring the thicknesses of layers during the deposition of multilayer systems[in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2004. V. 71. No 10. P. 74-78.