Барышников Н.В., Денисов Д.Г., Карасик В.Е., Абдулкадыров М.А., Игнатов А.Н., Патрикеев В.Е., Семенов А.П., Морозов А.Б., Судариков И.Н., Шаров Ю.А. Высокоточный метод контроля параметров локальных отклонений нанометрового уровня поверхности оптической детали // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 3. С. 54–61. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-03-54-61
Baryshnikov N.V., Denisov D.G., Karasik V.E., Abdulkadyrov M.A., Ignatov A.N., Patrikeev V.E., Semenov A.P., Morozov A.B., Sudarikov I.N., Sharov Yu.A. Precision method of monitoring the parameters of the local nanometer-level deviations of an optical component’s surface [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2018. V. 85. № 3. P. 54–61. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-03-54-61
|
Abstract
|