Петрушков М.О., Аксенов М.С., Богомолов Д.Б., Емельянов Е.А., Протасов Д.Ю., Путято М.А., Чистохин И.Б., Преображенский В.В., Гилинский А.М., Воропаев К.О. Легирование Zn эпитаксиальных слоёв InAlAs и InP из планарного источника Zn3P2 // Оптический журнал. 2024. Т. 91. № 2. С. 40–49. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2024-91-02-40-49
Petrushkov M.О., Aksenov M.S., Bogomolov D.B., Emelyanov E.A., Protasov D.Y., Putyato M.A., Chistokhin I.B., Preobrazhenskii V.V., Gilinsky A.M., Voropaev K.O. Zn doping of InAlAs and InP epitaxial layers from a planar Zn3P2 source [In Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2024. V. 91. № 2. P. 40–49. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2024-91-02-40-49
|
Abstract
|