Back
Seysyan,
Ruben
P.
Dr. Sc. (Physics and Mathematics)
| Affiliation |
| A.F. Ioffe Institute of Physics and Technology, RAS, St. Petersburg, Russia |
|
Articles
|
Сейсян Р.П., Беспалов В.Г., Жевлаков А.П., Макаров Е.А., Родионов А.Ю. Двухимпульсное биспектральное лазерное возбуждение и инициация плазмы в источнике экстремально-ультрафиолетового излучения для нанолитографии // Оптический журнал. 2017. Т. 84. № 11. С. 45–54.
Seysyan R.P., Bespalov V.G., Zhevlakov A.P., Makarov E.A., Rodionov A.Yu. Dual-pulse bispectral laser excitation and plasma initiation in an extreme-UV radiation source for nanolithography [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2017. V. 84. № 11. P. 45–54.
|
Abstract
|
|
Бельский А.Б., Ган М.А., Миронов И.А., Сейсян Р.П. Перспективы развития оптических систем для нанолитографии // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 8. С. 59–69.
Belskiy A.B., Gan M.A., Mironov I.A., Seisyan R.P. Prospects for the development of optical systems for nanolithography [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2009. V. 76. № 8. P. 59–69.
|
Abstract
|
