ITMO
ru/ ru

ISSN: 1023-5086

ru/

ISSN: 1023-5086

Scientific and technical

Opticheskii Zhurnal

A full-text English translation of the journal is published by Optica Publishing Group under the title “Journal of Optical Technology”

Article submission Подать статью
Больше информации Back

Urvachev, S. A.

Affiliation
PJSC Krasnogorsky Zavod named after S. A. Zverev (PJSC KMZ), Krasnogorsk, Moscow region, Russia

Articles

Бельский А.Б., Анчуткин В.С., Урвачев С.А. Контроль перемещений подвижных линз в проекционном объективе фотолитографической установки для производства сверхбольших интегральных схем // Оптический журнал. 2007. Т. 74. № 2. С. 49–56.

 

Belskiy A.B., Anchutkin V.S., Urvachev S.A. Monitoring the displacements of movable lenses in the projection objective of a photolithographic system for producing superlarge integrated microcircuits [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2007. V. 74. № 2. P. 49–56.

 Abstract