ITMO
ru/ ru

ISSN: 1023-5086

ru/

ISSN: 1023-5086

Scientific and technical

Opticheskii Zhurnal

A full-text English translation of the journal is published by Optica Publishing Group under the title “Journal of Optical Technology”

Article submission Подать статью
Больше информации Back

Yang, Baoxi

Affiliation
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China
University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, China

Articles

Chengke Xie, Ming Chen, Jing Zhu, Baoxi Yang, Huijie Huang Measurement precision improvement for excimer laser pulse energy sensor based on a special finite impulse response filter (Улучшение точности измерений датчика энергии импульсов излучения эксимерного лазера на основе специального фильтра импульсного отклика с конечной длительностью) [на англ. яз.] // Оптический журнал. 2017. Т. 84. № 5. С. 75–79.

 

Chengke Xie, Ming Chen, Jing Zhu, Baoxi Yang, Huijie Huang Measurement precision improvement for excimer laser pulse energy sensor based on a special finite impulse response filter (Улучшение точности измерений датчика энергии импульсов излучения эксимерного лазера на основе специального фильтра импульсного отклика с конечной длительностью) [in English] // Opticheskii Zhurnal. 2017. V. 84. № 5. P. 75–79.

Abstract

Ming Chen, Fang Zhang, Aijun Zeng, Jing Zhu, Baoxi Yang, and Huijie Huang Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography (Способ формирования зрачка для внеосевого освещения в оптической литографии) [на англ. яз.] // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 3. С. 20–26.

 

Ming Chen, Fang Zhang, Aijun Zeng, Jing Zhu, Baoxi Yang, and Huijie Huang Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography (Способ формирования зрачка для внеосевого освещения в оптической литографии) [in English] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 3. P. 20–26.

Abstract