Использование метода голографии для получения изображений двумерных объектов при решении задач фотолитографии высокого разрешения

Корешев С.Н., Ратушный В.П. Использование метода голографии для получения изображений двумерных объектов при решении задач фотолитографии высокого разрешения // Оптический журнал. 2004. Т.71. №10 С. 32-39.

Koreshev S.N., Ratushnyi V.P. Using the method of holography to obtain images of two-dimensional objects when solving problems of high-resolution photolithography [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2004. V. 71. No 10. P. 32-39.

Koreshev S.N., Ratushnyi V.P. Using the method of holography to obtain images of two-dimensional objects when solving problems of high-resolution photolithography // Journal of Optical Technology. 2004. V. 71. № 10. P. 673-679. https://doi.org/10.1364/JOT.71.000673

Теоретически обоснованы и экспериментально подтверждены два варианта схем записи и восстановления отражательных рельефно-фазовых голограмм, обеспечивающих безаберрационное, бесспекловое отображение двумерных обьектов микроскопического масштаба. Первый вариант схемы основан на замене проекционного объектива рельефно-фазовой голограммой-проектором, второй- на традиционной для фотолитографии ближнепольной коррекции. Получены и исследованы образцы голограмм-проекторов, формирующих на длине волны 0,488 мкм изображение фотолитографической миры с характеристическим размером 0,8 мкм. Сделан вывод о перспективности дальнейших работ, направленных на внедрение методов оптической голографии в коротковолновую фотолитографию.