Увеличение эффективности управляемого лазерного термораскалывания диэлектрических материалов

Сысоев В.К., Папченко Б.П., Захарченко А.В., Вятлев П.А. Увеличение эффективности управляемого лазерного термораскалывания диэлектрических материалов // Оптический журнал. 2004. Т.71. №2 С. 7-10.

Sysoev V.K., Papchenko B.P., Zakharchenko A.V., Vyatlev P.A. Increasing the efficiency of controllable laser thermal cleavage of insulating materials [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2004. V. 71. No 2. P. 65-69.

Sysoev V.K., Zakharchenko A.V., Vyatlev P.A., Papchenko B.P. Increasing the efficiency of controllable laser thermal cleavage of insulating materials // Journal of Optical Technology. 2004. V. 71. № 2. P. 117-120. https://doi.org/10.1364/JOT.71.000117

Рассмотрены различные методы увеличения эффективности управляемого термораскалывания диэлектрических материалов (оксидных стекол, кварца, сапфира и т.д.) с помощью излучения СО₂-лазеров: бесконтактное получение микродефектов для организации микротрещины в обрабатываемом материале; управление движением лазерной микротрещины, позволяющее увеличить как скорость, так и толщину высокоточного раскроя диэлектрического материала лазерным термораскалыванием, термораскалывание во взаимно пересекающихся направлениях для получения миниатюрных изделий.