Cинтез алмазоподобиых пленок методом РСVД для просветления германия

Файзрахманов И.А., Базаров B.B., Стрельников Ю.П., Хайбуллин И.Б. Cинтез алмазоподобиых пленок методом РСVД для просветления германия // Оптический журнал. 2004. Т.71. №4 С. 43-45.

Faizrakhmanov I.A., Bazarov V.V., Strel'nikov Yu.P., Khaibullin I.B. Synthesizing diamondlike films by PCVD for antireflection coating of germanium [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2004. V. 71. No 4. P. 43-45.

Faizrakhmanov I.A., Bazarov V.V., Khaibullin I.B., Strel'nikov Yu.P. Synthesizing diamondlike films by PCVD for antireflection coating of germanium // Journal of Optical Technology. 2004. V. 71. № 4. P. 242-244. https://doi.org/10.1364/JOT.71.000242

Проведен комплекс исследований по синтезу алмазоподобных пленок гидрогенизированного углерода методом разложения ацетилена в плазме высокочастотного разряда (метод PCVD). Исследованы оптические и прочностные свойства пленок в зависимости от режимов синтеза, определены скорости осаждения. Проведен комплекс испытаний в экстремальных условиях пленок на подложках из стекла и германия с целью определения их устойчивости к различного рода внешним воздействиям. Установлено, что по комплексу своих оптических, прочностных, химических свойств полученные углеродные пленки могут быть использованы в качестве многофункциональных покрытий оптических элементов ИК техники. Полученные скорости осаждения пленок свидетельствуют о высокой производительности метода PCVD.