Влияние ионной обработки отражающих алюминиевых покрытий на их микрорельеф и светорассеяние

Файзрахманов И.А., Стрельников Ю.П., Хайбуллин И.Б. Влияние ионной обработки отражающих алюминиевых покрытий на их микрорельеф и светорассеяние // Оптический журнал. 2004. Т.71. №4 С. 46-49.

Faizrakhmanov I.A., Khaibullin I.B., Strel'nikov Y.P. How the ion processing of reflective aluminum coatings affects their microrelief and light scattering [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2004. V. 71. No 4. P. 46-49.

Faizrakhmanov I.A., Khaibullin I.B., Strel'nikov Y.P. How the ion processing of reflective aluminum coatings affects their microrelief and light scattering // Journal of Optical Technology. 2004. V. 71. № 4. P. 245-248. https://doi.org/10.1364/JOT.71.000245

Исследовано влияние бомбардировки ионами криптона с энергией 20 кэВ на микрорельеф и светорассеяние отражающих слоев алюминия. Установлено, что при скользящих углах падения ионов (примерно 85°) происходит сглаживание микрорельефа и уменьшение светорассеяния не менее чем в пять раз. Установлено, что ионная полировка происходит в определенном интервале доз облучения. Ионная полировка нарезных дифракционных решеток (1200 шт/мм) ведет к уменьшению их светорассеяния в 3 раза.