Влияние технологических ошибок и уширения линии излучения лазера на качество работы дифракционных оптических элементов

Скиданов Р.В., Хонина С.Н. Влияние технологических ошибок и уширения линии излучения лазера на качество работы дифракционных оптических элементов // Оптический журнал. 2004. Т.71. №7 С. 62-64.

Skidanov R.V., Khonina S.N. How processing errors and broadening of the emission line of a laser affect the operating quality of diffractive optical elements [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2004. V. 71. No 7. P. 62-64.

Skidanov R.V., Khonina S.N. How processing errors and broadening of the emission line of a laser affect the operating quality of diffractive optical elements // Journal of Optical Technology. 2004. V. 71. № 7. P. 469-471. https://doi.org/10.1364/JOT.71.000469

Дана оценка предельно допустимым отклонениям параметров микрорельефа дифракционных оптических элементов (ДОЭ) исходя из технологических погрешностей. Приведены результаты моделирования и численного эксперимента по оценке влияния технологических ошибок формирования микрорельефа на параметры ДОЭ. Предпринимастся попытка ввести единый параметр для характеристики качества ДОЭ. Исследованы влияние спектральной ширины линии лазерного излучения на качество работы ДОЭ, а также работа ДОЭ на нерасчетных длинах волн.