Исследование оптических пленок SіO2 полученных реактивным магнетронным распылением на переменном токе

Вольпян О.Д., Обод Ю.А., Яковлев П.П. Исследование оптических пленок SіO2 полученных реактивным магнетронным распылением на переменном токе // Оптический журнал. 2004. Т.71. №7 С. 81-84.

Vol'pyan O.D., Obod Yu.A., Yakovlev P.P. Investigation of SiO2 optical films produced by reactive ac magnetron sputtering [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2004. V. 71. No 7. P. 81-84.

Приведены результаты экспериментальных исследований оптических постоянных и скорости роста пленок SiO₂, изготовленных магнетронным распылением Si-мишени в Ar:O₂ -средет током ультразвуковой частоты. Полученные пленки SiO₂ по оптическим параметрам аналогичны пленкам SiO₂, изготовленным методом электронно-лучевого испарения с ионным ассистированием.