Исследование влияния ошибок напыления слоев на спектральную характеристику многослойного интерференционного фильтра

Фетисенков С.А., Кривецкий К.Н. Исследование влияния ошибок напыления слоев на спектральную характеристику многослойного интерференционного фильтра // Оптический журнал. 2004. Т.71. №9 С. 88-92.

Fetisenkov S.A., Krivetskii K.N. How errors in sputtering the layers affect the spectral response of a multilayer interference filter [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2004. V. 71. No 9. P. 88-92.

Fetisenkov S.A., Krivetskii K.N. How errors in sputtering the layers affect the spectral response of a multilayer interference filter // Journal of Optical Technology. 2004. V. 71. № 9. P. 638-641. https://doi.org/10.1364/JOT.71.000638

Выполнен расчет конструкции интерференционного фильтра для устройств разреженного мультиплексирования по длине волн наоснове Nb₂O₅ и SiO₂. Исследовано влияние ошибок напыления слоев на спектральную характеристику фильтра. Определены максимально чувствительные к ошибкам слои и допустимая погрешность напыления покрытия. Оценены возможности коррекции допущенных ошибок в процессе нанесения интерференционных слоев фильтра. Проведен анализ ошибок напыления полученного экспериментального образца фильтра.